中微等離子體刻蝕設(shè)備運(yùn)抵中芯國(guó)際

中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微”）于 SEMICON China 展會(huì)期間宣布，中微第二代等離子體刻蝕設(shè)備 Primo AD-RIE? 正式裝配國(guó)內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片代工企業(yè)中芯國(guó)際，用于32納米至28納米及更先進(jìn)的芯片加工。這是繼去年 SEMICON West 展會(huì)期間 Primo AD-RIE? 正式發(fā)布以來(lái)，中微 Primo AD-RIE? 設(shè)備首次進(jìn)入中國(guó)大陸客戶(hù)生產(chǎn)線。目前，中微第一代等離子體刻蝕設(shè)備 Primo D-RIE? 已在中國(guó)建立了穩(wěn)固的市場(chǎng)地位。Primo AD-RIE? 設(shè)備也已進(jìn)入臺(tái)灣客戶(hù)的生產(chǎn)線。

到目前為止，中微的刻蝕設(shè)備已進(jìn)入11家客戶(hù)的14條芯片生產(chǎn)線，客戶(hù)涵蓋中國(guó)大陸、臺(tái)灣、新加坡和南韓等地的整合器件制造商（IDM）、晶圓代工廠、芯片封裝廠等。這其中也包括中微近日發(fā)布的 TSV 硅通孔刻蝕設(shè)備 Primo TSV200E?，為中微開(kāi)辟了新的市場(chǎng)。綜合來(lái)看，中微的設(shè)備均擁有生產(chǎn)率高、工藝性能出色、操作簡(jiǎn)便、成本競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)明顯等優(yōu)點(diǎn)。隨著亞洲地區(qū)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求日漸增長(zhǎng)，中微不斷拓展產(chǎn)品線使之日趨多元化，從而邁入了快速發(fā)展的軌道，2011年中微的銷(xiāo)售額較2010年增長(zhǎng)了兩倍多。同時(shí)，為了滿足企業(yè)自身發(fā)展的需求，中微位于上海的二期大樓也將竣工，屆時(shí)將增加10,000平方米的生產(chǎn)基地。

Primo AD-RIE? 設(shè)備是中微第二代甚高頻去耦合等離子體刻蝕設(shè)備，可滿足多種關(guān)鍵生產(chǎn)工藝要求。繼第一代已被業(yè)界廣泛認(rèn)可的 Primo D-RIE? 之后，Primo AD-RIE? 采用了更多技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)，以解決生產(chǎn)復(fù)雜的22納米至14納米芯片所帶來(lái)的挑戰(zhàn)，同時(shí)確保芯片加工的質(zhì)量。這些技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)包括：可切換頻率的射頻系統(tǒng)保證了刻蝕的靈活性和可重復(fù)性，更好的調(diào)諧能力確保了超精細(xì)關(guān)鍵尺寸的均勻度和可重復(fù)性，改良的反應(yīng)室室內(nèi)材料減少了工藝缺陷并降低了成本消耗。

“我們很高興中微在中國(guó)的第一臺(tái) Primo AD-RIE? 設(shè)備能進(jìn)入國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的晶圓代工廠，”中微副總裁兼刻蝕產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理朱新萍說(shuō)道，“與中微第一代產(chǎn)品類(lèi)似，Primo AD-RIE? 設(shè)備的單位投資產(chǎn)出率比市場(chǎng)上其他同類(lèi)設(shè)備提高了30%以上，占地面積較其他同類(lèi)設(shè)備減少了30%以上，并能使加工晶圓的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE? 設(shè)備已成為市場(chǎng)上生產(chǎn)率最高、單位投資產(chǎn)出率最高的先進(jìn)刻蝕設(shè)備，用于各種關(guān)鍵及通常的工藝應(yīng)用?！?