上海華力微電子55納米工藝產(chǎn)品開始試流片

本報(bào)訊 4月29日，作為“909工程”升級(jí)改造的重要項(xiàng)目，上海華力微電子12英寸全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線55納米工藝產(chǎn)品開始試流片，標(biāo)志著這一由國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整和振興規(guī)劃所確定的重大工程、上海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重大項(xiàng)目的建設(shè)進(jìn)入了又一個(gè)新階段。國(guó)家發(fā)改委、工業(yè)和信息化部等相關(guān)部門領(lǐng)導(dǎo)，上海市有關(guān)方面的負(fù)責(zé)人出席了項(xiàng)目的啟動(dòng)儀式。
上海華力微電子的12英寸芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目于2010年1月19日啟動(dòng)，2010年6月18日取得施工許可證。僅用了5個(gè)月的時(shí)間便完成了凈化廠房的改造和動(dòng)力系統(tǒng)主體工程的建設(shè)，于2010年11月20日實(shí)現(xiàn)了首臺(tái)核心工藝設(shè)備光刻機(jī)的入位。之后，項(xiàng)目采用了動(dòng)力設(shè)施施工與設(shè)備安裝調(diào)試平行進(jìn)行的作業(yè)模式，在短時(shí)間內(nèi)完成了首期月產(chǎn)能1萬(wàn)片的設(shè)備安裝調(diào)試。
目前，上海華力微電子已經(jīng)準(zhǔn)備就緒的月產(chǎn)能1萬(wàn)片的設(shè)備，充分考慮到了技術(shù)的延展性，能夠較好地滿足包括浸沒式光刻技術(shù)、應(yīng)變硅技術(shù)、金屬硬掩模后道互連技術(shù)等先進(jìn)工藝的要求。在這些設(shè)備中，還采購(gòu)了由上海中微半導(dǎo)體設(shè)備公司生產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)刻蝕設(shè)備；在檢測(cè)設(shè)備方面，配備了業(yè)界先進(jìn)的亮場(chǎng)缺陷檢測(cè)和電子掃描顯微鏡檢測(cè)設(shè)備。
基于前期建設(shè)和研發(fā)的成果以及市場(chǎng)需求，上海華力微電子決定，首批流片就從55納米的邏輯產(chǎn)品起步。下個(gè)階段，將抓緊進(jìn)行自身設(shè)備的工藝驗(yàn)證、客戶的產(chǎn)品驗(yàn)證、最終產(chǎn)品的整機(jī)驗(yàn)證。在下半年完成下一個(gè)1萬(wàn)片月產(chǎn)能設(shè)備的選型和訂購(gòu)，第四季度開始進(jìn)入45納米的工藝研發(fā)。隨后，將在項(xiàng)目3.5萬(wàn)片月產(chǎn)能達(dá)產(chǎn)驗(yàn)收后，向更高的工藝等級(jí)邁進(jìn)。 (羅仁宵)