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[導(dǎo)讀]半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制程幾何技術(shù)微縮腳步從不曾停歇。從40nm開(kāi)始,除了在實(shí)際設(shè)計(jì)過(guò)程中數(shù)據(jù)尺寸的幾何成長(zhǎng)因素外,過(guò)去從不考慮半導(dǎo)體制程相關(guān)議題的設(shè)計(jì)師們,也不得不開(kāi)始將日益復(fù)雜的實(shí)體因素納入考量。對(duì)設(shè)計(jì)師而言,

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制程幾何技術(shù)微縮腳步從不曾停歇。從40nm開(kāi)始,除了在實(shí)際設(shè)計(jì)過(guò)程中數(shù)據(jù)尺寸的幾何成長(zhǎng)因素外,過(guò)去從不考慮半導(dǎo)體制程相關(guān)議題的設(shè)計(jì)師們,也不得不開(kāi)始將日益復(fù)雜的實(shí)體因素納入考量。對(duì)設(shè)計(jì)師而言,學(xué)習(xí)時(shí)間很短,但這個(gè)壓力會(huì)一直持續(xù)。28nm將會(huì)是一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn),而20nm很快也會(huì)到來(lái)。

隨著半導(dǎo)體制程不斷演變,電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)也一直努力跟進(jìn)。然而,盡管EDA工具不斷改良,但近期制程技術(shù)的發(fā)展仍然不斷創(chuàng)造新需求,例如從運(yùn)算農(nóng)莊(compute farm)轉(zhuǎn)移到運(yùn)算牧場(chǎng)(compute ranch)的實(shí)體驗(yàn)證需求。而運(yùn)算時(shí)間仍然需要花費(fèi)數(shù)小時(shí)甚至數(shù)天之久。大部份這些工具所使用的演算法和架構(gòu)概念都是在1990年代所制定的(有些甚至在1980年代),以至于無(wú)法滿足今天和未來(lái)的制程技術(shù)在執(zhí)行和可擴(kuò)展性方面的需求。

65nm的晶片設(shè)計(jì)已接近2億個(gè)電晶體了。在40nm,電晶體管的數(shù)量增加至數(shù)億個(gè),進(jìn)一步對(duì)EDA工具提出了挑戰(zhàn),特別是實(shí)體驗(yàn)證工具。由于可擴(kuò)展性對(duì)設(shè)計(jì)師而言是一個(gè)關(guān)鍵要求,因此,實(shí)體驗(yàn)證工具必須能夠在合理的周轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)輕松地處理數(shù)十億個(gè)電晶體。

除了數(shù)據(jù)量,日益復(fù)雜的設(shè)計(jì)規(guī)則以及每一代全新的制程節(jié)點(diǎn)都帶來(lái)新的問(wèn)題──在布局的實(shí)體驗(yàn)證中經(jīng)常導(dǎo)致過(guò)度或不足的檢查。例如,在28nm或40nm做布局驗(yàn)證時(shí),規(guī)則檢查必須在周圍背景環(huán)境中完成。根據(jù)相鄰的相同或不同層外形,在相同層上的相同外形設(shè)計(jì)準(zhǔn)則可以有不同的值。具備環(huán)境敏感度的規(guī)則也需要對(duì)環(huán)境敏感的檢查功能。在1990年代,這些設(shè)計(jì)規(guī)則并不存在。但多年來(lái)EDA供應(yīng)商不斷改進(jìn)工具,在原先的架構(gòu)上持續(xù)加入功能,以滿足設(shè)計(jì)驗(yàn)證需求。圖1說(shuō)明了實(shí)體驗(yàn)證技術(shù)及工具的演進(jìn)。


圖1:實(shí)體驗(yàn)證工具的演變。

顯然,目前的設(shè)計(jì)規(guī)則檢查/布局與原理圖(DRC/LVS的)工具就像是一棟多層樓的大廈,需要進(jìn)行大規(guī)模調(diào)整,以滿足新一代設(shè)計(jì)的需求。對(duì)這些工具的擁有來(lái)說(shuō),要在不帶來(lái)重大損害的情況下提供服務(wù)非常困難。對(duì)今天所使用的DRC/LVS工具而言也是如此。從‘扁平’到‘分層’式的處理流程,為生產(chǎn)力帶來(lái)了重大改進(jìn)。而今天的先進(jìn)制程技術(shù),如具備環(huán)境敏感性的近接效應(yīng)和金屬填充等也發(fā)揮了關(guān)鍵作用,階層式結(jié)構(gòu)的個(gè)別實(shí)例必須各自進(jìn)行分析。這又提出了一些重要問(wèn)題:除了高度結(jié)構(gòu)化的布局如記憶體,其他所有布局的階層式DRC處理的價(jià)值何在?當(dāng)前的工具有能力處理28nm甚至更先進(jìn)的制程技術(shù)嗎?

本文作者Vlad Marchuk 是PolytEDA軟體公司CTO暨創(chuàng)辦人。Marchuk在EDA產(chǎn)業(yè)擁有超過(guò)20年經(jīng)驗(yàn)。他是OTTO Software公司(2003年被CDN并購(gòu))的共同創(chuàng)辦人,曾開(kāi)發(fā)出IC電路的實(shí)體驗(yàn)證系統(tǒng),并在Cadence和Electronics Workbench等公司任職。他1998年畢業(yè)于Kiev Polytechnic大學(xué),獲CAD工程碩士學(xué)位。

編譯: Joy Teng

(參考原文: Major changes expected for physical verification tools as designs move into 28nm and below ,by Vlad Marchuk)



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