GlobalFoundries進(jìn)軍大規(guī)模MEMS制造
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GlobalFoundries宣布與SVTC Technologies合作,加速大規(guī)模MEMS制造的進(jìn)程,目標(biāo)是成為MEMS代工業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者。
GlobalFoundries表示要將其MEMS工藝發(fā)展成類似于CMOS的標(biāo)準(zhǔn)工藝。
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http://www.edn.com/article/510924-GlobalFoundries_looks_high_volume_manufacturing_of_MEMS.php