志尚儀器開(kāi)啟半導(dǎo)體在線(xiàn)微污染監(jiān)測(cè)設(shè)備的新紀(jì)元

近年來(lái)志尚儀器為了不斷的追求質(zhì)量目標(biāo)以提供客戶(hù)最佳的售后服務(wù)，不僅于2006年首先通過(guò)ISO9001認(rèn)證，之后又率先于2008年成立 ISO 17025 認(rèn)證暨TAF第1936號(hào)氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測(cè)器(Gases Monitor)校正實(shí)驗(yàn)室以提供客戶(hù)最優(yōu)質(zhì)的氣體流量計(jì)或校正器之校正與可燃性/毒性氣體偵測(cè)之校正服務(wù)，2009年開(kāi)春志尚儀器更傳來(lái)該公司所成立的全臺(tái)第一家微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室(AMC Lab.)也以獲得 ISO 17025 的認(rèn)證暨TAF第1992號(hào)實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可。

此外更積極與學(xué)術(shù)界進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)移及交流，2010年有幸獲得國(guó)立交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授的首肯同意與敝公司進(jìn)行技術(shù)合作，并將已獲得中華民國(guó)專(zhuān)利的Denuder 技術(shù)作技術(shù)轉(zhuǎn)移，以便與 ISO 17025 實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開(kāi)發(fā)出新一代的 AMC 分析儀。


志尚與ISO17025實(shí)驗(yàn)室結(jié)合開(kāi)發(fā)出新一代的AMC分析儀。

交通大學(xué)蔡春進(jìn)教授對(duì)于平板式濕式分離器已有多年的研究經(jīng)驗(yàn)，而蔡教授最近也已獲得中華民國(guó)第 I327641 號(hào)專(zhuān)利，該平板式濕式分離器專(zhuān)利包含此平板式濕式分離器之用于連續(xù)式采樣及分析之系統(tǒng)及用于將氣體吸收及氧化之設(shè)備開(kāi)發(fā)了一種高效率的平板式濕式固氣分離器(Parallel plate wet denuder, PPWD)以改善現(xiàn)今國(guó)內(nèi)煙道酸性氣體標(biāo)準(zhǔn)采樣方法的缺點(diǎn)，有助于提升采樣分析的方便性及準(zhǔn)確性。

本公司有此榮幸與蔡教授合作并獲得美國(guó) Dionex 公司全力支持該公司的在線(xiàn) IC離子層析儀系統(tǒng)，并結(jié)合志尚儀器自行生產(chǎn)的多點(diǎn)采樣系統(tǒng)及 ISO 17025 認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室的品管掌控，而推出最新一代的半導(dǎo)體AMC在線(xiàn)離子層析儀監(jiān)測(cè)設(shè)備。本設(shè)備于實(shí)驗(yàn)室中曾以VICI公司滲透管所產(chǎn)生之HF氣體作為測(cè)試氣體，滲透速率為109 ng/min±25% ( 30℃)，每個(gè)平板的去離子水吸收液流量為1 cc/min，采樣時(shí)間為15分鐘，氣體流量為5~10 L/min。氣體由吸收液吸收后，利用IC離子層析儀進(jìn)行吸收液的樣本濃度分析，并據(jù)以計(jì)算PPWD的吸收效率。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示若玻璃平板為光滑的平面玻璃，即使經(jīng)涂敷TiO2再配合UV光照射，形成的水膜仍不均勻，氣體吸收效率因?yàn)椴糠指傻舯砻娴牟鄣佬?yīng)而僅約為25%。若利用多孔玻璃平板涂敷TiO2再經(jīng)UV光照射，結(jié)果發(fā)現(xiàn)其表面親水性佳、水膜均勻，當(dāng)氣體流量為5L/min、7 L/min和10 L/min時(shí)氣體吸收效率分別為105.36%±9.06%、96.76%±1.57% 和0.33%±4.63%，其實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論吸收效率相符。

志尚儀器所獲ISO 17025認(rèn)證的微污染分析實(shí)驗(yàn)室，主要就是考慮以往在半導(dǎo)體微污染分析的領(lǐng)域往往由于采樣或分析的手法不同造成對(duì)分析結(jié)果有所疑惑，而志尚儀器微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室(AMC Lab.)的成立就是希望能提供半導(dǎo)體相關(guān)客戶(hù)一個(gè)可靠的采樣分析實(shí)驗(yàn)室。志尚儀器的微污染氣體分析實(shí)驗(yàn)室是根據(jù)相關(guān)SEMI的標(biāo)準(zhǔn)并依據(jù)EPA或 NIOSH的采樣或分析方法提供有關(guān)半導(dǎo)體業(yè)常見(jiàn)的堿性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴離子、硫酸/亞硫酸根離子、硝酸/亞硝酸根離子…等)氣體ppt到ppb的分析范圍服務(wù)。此外該實(shí)驗(yàn)室也結(jié)合志尚儀器另外兩個(gè)ISO17025實(shí)驗(yàn)室(氣體流率及氣體偵測(cè)器校正實(shí)驗(yàn)室)，更能確保在采樣時(shí)采樣系統(tǒng)流率的正確以及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確配置，以便提供客戶(hù)最佳的微污染氣體分析服務(wù)。