臺(tái)積電持續(xù)投資歐洲半導(dǎo)體業(yè)

這項(xiàng)設(shè)備將安裝于臺(tái)積電的超大晶圓廠——臺(tái)積十二廠，用以發(fā)展新世代的工藝技術(shù)。臺(tái)積電也將成為全球第一個(gè)可以在自身晶圓廠發(fā)展超紫外光微影技術(shù)的專業(yè)集成電路制造服務(wù)業(yè)者。

【IT商業(yè)新聞網(wǎng)訊】（記者 周元英）2010年2月22日，臺(tái)積電與荷蘭ASML公司共同宣布，前者將取得后者的超紫外光微影設(shè)備，是全球六個(gè)取得這項(xiàng)設(shè)備的客戶伙伴之一。

這項(xiàng)設(shè)備將安裝于臺(tái)積電的超大晶圓廠——臺(tái)積十二廠，用以發(fā)展新世代的工藝技術(shù)。臺(tái)積電也將成為全球第一個(gè)可以在自身晶圓廠發(fā)展超紫外光微影技術(shù)的專業(yè)集成電路制造服務(wù)業(yè)者。

相較于現(xiàn)行浸潤(rùn)式微影技術(shù)以193納米波長(zhǎng)當(dāng)作光源，超紫外光微影技術(shù)導(dǎo)入更短波長(zhǎng)的光源，將有機(jī)會(huì)降低生產(chǎn)成本，而成為集成電路制造更先進(jìn)技術(shù)世代一個(gè)有潛力的選擇。TSMC目前正在對(duì)超紫外光及其他微影技術(shù)的最佳成本效益的潛力進(jìn)行評(píng)估。

臺(tái)積電研究發(fā)展資深副總經(jīng)理蔣尚義博士表示：經(jīng)由ASML和其他公司，歐洲半導(dǎo)體業(yè)將在臺(tái)積電未來(lái)工藝技術(shù)的發(fā)展上，繼續(xù)扮演重要的角色。

ASML公司執(zhí)行副總裁暨產(chǎn)品及技術(shù)長(zhǎng)Martin van den Brink表示：ASML已經(jīng)為邏輯、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取記憶體、NAND快閃記憶體及專業(yè)集成電路制造服務(wù)等芯片制造的主要領(lǐng)域提供超紫外光設(shè)備。