三星：臺灣半導體產(chǎn)業(yè)同盟共同之敵

 日前，臺灣半導體產(chǎn)業(yè)自主的發(fā)起了產(chǎn)業(yè)大同盟，其目的在于與三星所大力扶持的周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地設備商進行抗衡。據(jù)業(yè)內(nèi)人士表示，晶圓廠垂直整合重點設備商，避免技術外流，已成為時勢所趨。

國內(nèi)科技業(yè)過去在高端制程設備高度仰賴國際設備大廠，在提供臺灣廠商設備與改良時，也將臺灣的寶貴制程技術內(nèi)化到所供應的設備之中，這產(chǎn)生日后可能將臺灣量產(chǎn)技術泄露給對手的風險。國內(nèi)半導體廠要保持制程領先，應先構筑對追隨者切入的城墻，政府也有必要對臺灣在地設備商提供更多的支持。

政府已著手輔導半導體設備自主化發(fā)展，并列為國家型計畫支持的重點項目，其目的是要輔助真正能著力于設計、組裝與服務的設備公司，只有掌握設備設計開發(fā)的能力才能達到真正的臺灣設備自制率提升。

研制太陽能與IC、面板產(chǎn)業(yè)所需設備應以制程為客制化設備開發(fā)的導向，這是確保量產(chǎn)優(yōu)勢最重要的一環(huán)。設備的性能與產(chǎn)能關乎產(chǎn)品品質(zhì)與生產(chǎn)成本，其中又以物理/化學氣相沉積設備(PVD/CVD;Physical/ChemicalVaporDeposition)是最具關鍵性，是生產(chǎn)精密元件的基礎制程設備。

精曜科技投入各種鍍膜設備與自動化量產(chǎn)系統(tǒng)平臺的開發(fā)及推展，目前產(chǎn)品已獲得產(chǎn)業(yè)龍頭的認可與采用，為國內(nèi)僅見。其研發(fā)設計與工廠設于竹科，60多位專業(yè)人員埋首于設備的開發(fā)，建立“以制程為自主設計設備之導向，整合委外的精密機加工鏈，再進行組裝、測試、品質(zhì)檢驗與售后服務”的特有經(jīng)營模式，已突破數(shù)十套CVD設備銷售，另外在大陸蘇州設有設備展示中心，供全球客戶做試樣與驗證，已進入成長的階段。

異質(zhì)接面(HJT)太陽能電池是首個被美國能源部認可，率先獲得美國電池工廠所采用的項目。精曜科技的PECVD設備在HJT的制程中，已能成功執(zhí)行8奈米(nm)厚的膜層鍍膜，并達到最均勻的膜層厚度，超越客戶的需求規(guī)格，具體展現(xiàn)精曜有能力持續(xù)發(fā)展如原子層鍍膜設備與蝕刻等新應用。

該公司初期投入非晶微晶矽薄膜太陽能產(chǎn)業(yè)所需的關鍵PECVD設備，當時轉(zhuǎn)換效率已達12%，建立了優(yōu)良鍍膜的能力與名聲，精曜CVD設備亦可應用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池與N型單晶高效率異質(zhì)接面(HJT)太陽電池等的鍍膜制程，展現(xiàn)優(yōu)越的特性，因此開啟多元化的發(fā)展契機，現(xiàn)與臺灣二大電池工廠長期密切合作，觸角也延伸至國外。

近年太陽能產(chǎn)業(yè)已朝向與市電平價(GridParity)的目標發(fā)展，產(chǎn)業(yè)逐漸脫離對政府補助的依賴，自由化的市場將促進成長的爆發(fā)性。精曜科技行銷處長陳厚模指出“制程差異化、成本降低、效率可持續(xù)提高的HJT產(chǎn)品”為未來業(yè)者勝出太陽能市場的關鍵點。有鑒于高效率太陽能發(fā)電制造設備極具潛力，工業(yè)局的“精密機械工業(yè)發(fā)展推動計畫”，對半導體設備的“高效率太陽能發(fā)電之制造設備”，明確指出為潛在發(fā)展產(chǎn)品項目之一。

世界太陽能發(fā)展趨勢已朝向以屋頂發(fā)電為主，美國SolarCity并購新興的賽昂(Silevo)異質(zhì)接面電池工廠之后，已籌劃大手筆建構產(chǎn)能高達1GW的異質(zhì)接面電池工廠，精曜做為高端鍍膜設備的領頭羊，打進國際大廠供應鏈，在SolarCity一案，精曜扮演了重要的角色。

SolarCity預估到2018年時，異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)光電轉(zhuǎn)換效率將達25%，模組生產(chǎn)成本(CoO)將低于40￠/瓦，均化發(fā)電成本(LCOE)則將降到3￠/度。另一方面，部份業(yè)者也高度關注背接式(IBC)高效電池的發(fā)展，友達(AUO)之前已投入與美商Sunpower合作在馬來西亞共建IBC電池工廠，但在2014年的PVTaiwan展會中卻展示出323W的高效異質(zhì)接面模組，效率已達20%，回推其異質(zhì)接面電池效率應已超越21.5%，代表國內(nèi)電池業(yè)者已有企圖發(fā)展異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)。

臺灣具有強大的半導體中游產(chǎn)業(yè)鏈，但需要加強上游的自主設備產(chǎn)業(yè)區(qū)塊，畢竟，設備是工業(yè)之母，設備自主是國家競爭力的重要泉源。