“中國(guó)智造”高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD下線

我國(guó)國(guó)產(chǎn)的代表國(guó)際尖端水平的高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備）在正泰集團(tuán)上海張江理想能源設(shè)備有限公司6日成功下線，打破了該領(lǐng)域長(zhǎng)期被歐美企業(yè)壟斷的局面，國(guó)內(nèi)LED生產(chǎn)成本有望顯著下降。
MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備，因設(shè)備技術(shù)難度高、開(kāi)發(fā)周期長(zhǎng)以及國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因，市場(chǎng)主要被歐美企業(yè)所壟斷。
近年來(lái)，隨著高亮度LED在戶外顯示、液晶面板背光、汽車應(yīng)用等領(lǐng)域滲透率的不斷提高，特別是半導(dǎo)體照明市場(chǎng)的啟動(dòng)，對(duì)量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)性的增長(zhǎng)，全球年需求達(dá)數(shù)百臺(tái)、市場(chǎng)規(guī)模數(shù)十億美元。
我國(guó)LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就，產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化比例顯著提升，但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口，生產(chǎn)成本居高不下，嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開(kāi)發(fā)出更高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。
2010年9月，理想能源啟動(dòng)MOCVD項(xiàng)目，在兩年時(shí)間里，理想能源技術(shù)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備，并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝，成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光。
經(jīng)過(guò)設(shè)備原型機(jī)近1年的運(yùn)行證明其性能達(dá)到預(yù)定指標(biāo)，于2012年5月通過(guò)上海市科委的驗(yàn)收。依據(jù)工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶反饋，在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備，單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片，超過(guò)主流進(jìn)口設(shè)備。
量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升，最適合商業(yè)量產(chǎn)，該產(chǎn)品已申請(qǐng)20項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利。