北方微電子 高端微電子裝備國產(chǎn)化的實踐者
[導(dǎo)讀]微電子>北方微電子自2001年10月成立以來，就肩負發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任，以推進高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，通過實施國家科技重大專項，實現(xiàn)了我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)
微電子>北方微電子自2001年10月成立以來，就肩負發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)之重任，以推進高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，通過實施國家科技重大專項，實現(xiàn)了我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)拓展。
2011年10月29日，微電子>北方微電子 “成立十周年暨新廠房落成”慶典在其亦莊新址隆重舉行?；顒佑蓢?2科技重大專項實施管理辦公室主任梁勝主持，北京市市委常委、常務(wù)副市長吉林、北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會主任張伯旭、國家02科技重大專項領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室主任戴國強、總體專家組組長葉甜春、北京電子控股有限責(zé)任公司董事長、黨委書記兼微電子>北方微電子公司董事長王巖等領(lǐng)導(dǎo)，以及用戶、供應(yīng)商、合作單位等400余位嘉賓出席慶典，共賀微電子>北方微電子成立十周年暨新廠房落成。
張伯旭主任、葉甜春組長、戴國強主任分別致辭，對微電子>北方微電子在十五、十一五期間取得的顯著成績表示祝賀，并表達了對微電子>北方微電子未來發(fā)展的美好祝愿和堅定信心。華虹NEC副總裁雷海波、上海藍光副總裁劉理想等用戶代表在會上發(fā)言，高度認可與微電子>北方微電子公司的合作，繼續(xù)攜手并進共創(chuàng)未來。
吉林副市長表示，北京會繼續(xù)加大對微電子領(lǐng)域高新技術(shù)發(fā)展的扶持力度。同時，要求微電子>北方微電子抓住機遇，積極參與國內(nèi)外競爭，不斷發(fā)展壯大，為我國高端微電子裝備的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化做出新的貢獻。
10年來，微電子>北方微電子在多個技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破。
一、刻蝕機等產(chǎn)品的成功研制，填補了國內(nèi)4項空白，帶動我國集成電路裝備研制水平的顯著提升
1)8英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。國內(nèi)首臺進入大生產(chǎn)線使用的8英寸集成電路核心工藝裝備，已成功銷往中芯國際、上海華虹、上海宏力、國家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心等用戶，成為大生產(chǎn)線上的主力機臺，訂單累計1億元人民幣。
2)12英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。國內(nèi)首臺進入大生產(chǎn)線驗證的12英寸集成電路核心工藝裝備，已完成主流生產(chǎn)線的工藝考核，主要工藝性能指標(biāo)達到國際同類產(chǎn)品水平，已取得客戶批量采購意向。
3)半導(dǎo)體照明刻蝕機：國際領(lǐng)先水平，填補國內(nèi)空白。全球范圍內(nèi)首次將12英寸集成電路刻蝕工藝技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體照明領(lǐng)域，已實現(xiàn)對彩虹藍光、三安光電、中鎵半導(dǎo)體、同方光電、大連路明、湖南華磊、神光安瑞等主流客戶的銷售，2011年市場占有率超過50%(其中應(yīng)用于藍寶石圖形化襯底的刻蝕機市場占有率超過80%)，訂單累計1億元人民幣。
4)太陽能光伏PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)設(shè)備：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。設(shè)備采用平板式大產(chǎn)能設(shè)計，應(yīng)用多項集成電路核心技術(shù)，設(shè)備成膜的均勻性、減反射特性以及折射率等工藝技術(shù)指標(biāo)均達到國際先進水平，已取得生產(chǎn)線量產(chǎn)驗證。
二、PVD設(shè)備、MOCVD設(shè)備研發(fā)進展順利，產(chǎn)品創(chuàng)新不斷升級，帶動本土企業(yè)擺脫國外壟斷，搶占產(chǎn)業(yè)制高點。
1)12英寸PVD(物理氣相沉積)設(shè)備：該產(chǎn)品由歸國海外專家、國內(nèi)首批“千人計劃”學(xué)者帶隊攻關(guān)，采用國際領(lǐng)先的設(shè)計理念，產(chǎn)品可應(yīng)用于銅制程工藝，目前已完成客戶產(chǎn)品工藝測試。該產(chǎn)品研制成功后，將打破國外廠商壟斷。該產(chǎn)品還可拓展應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、TSV先進封裝領(lǐng)域。
2)金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備：該產(chǎn)品國際領(lǐng)先的設(shè)計理念，一次可完成100片以上的2英寸芯片外延，產(chǎn)能是國外設(shè)備的2倍，已完成原理樣機的設(shè)計與組裝。該產(chǎn)品研制成功后，將大大提升我國半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)競爭力。
微電子>北方微電子通過十年的發(fā)展，掌握了多項核心技術(shù)，截至2011年6月底，共計申請國內(nèi)專利700余件，其中發(fā)明專利697件，PCT申請49件。
今年，是微電子>北方微電子成立的第十個年頭。近日，公司研發(fā)的12英寸65nm高密度等離子刻蝕機通過中芯國際北京工廠生產(chǎn)線全線工藝驗證，這標(biāo)志著繼成功攻克8英寸100nm刻蝕技術(shù)難關(guān)后，微電子>北方微電子在追趕國際領(lǐng)先集成電路裝備技術(shù)的道路上，又邁進了一大步。
今年，微電子>北方微電子又承接了國家“十二五”《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》重大專項(02專項)“32-22nm柵刻蝕機產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“45-22nm銅互連PVD設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目。
微電子>北方微電子董事長王巖在致辭中表示，微電子>北方微電子將繼續(xù)以推進高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，確保國家科技重大專項的完成，實現(xiàn)我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時將積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)拓展，爭取在更多技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。
2011年10月29日，微電子>北方微電子 “成立十周年暨新廠房落成”慶典在其亦莊新址隆重舉行?；顒佑蓢?2科技重大專項實施管理辦公室主任梁勝主持，北京市市委常委、常務(wù)副市長吉林、北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會主任張伯旭、國家02科技重大專項領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室主任戴國強、總體專家組組長葉甜春、北京電子控股有限責(zé)任公司董事長、黨委書記兼微電子>北方微電子公司董事長王巖等領(lǐng)導(dǎo)，以及用戶、供應(yīng)商、合作單位等400余位嘉賓出席慶典，共賀微電子>北方微電子成立十周年暨新廠房落成。
張伯旭主任、葉甜春組長、戴國強主任分別致辭，對微電子>北方微電子在十五、十一五期間取得的顯著成績表示祝賀，并表達了對微電子>北方微電子未來發(fā)展的美好祝愿和堅定信心。華虹NEC副總裁雷海波、上海藍光副總裁劉理想等用戶代表在會上發(fā)言，高度認可與微電子>北方微電子公司的合作，繼續(xù)攜手并進共創(chuàng)未來。
吉林副市長表示，北京會繼續(xù)加大對微電子領(lǐng)域高新技術(shù)發(fā)展的扶持力度。同時，要求微電子>北方微電子抓住機遇，積極參與國內(nèi)外競爭，不斷發(fā)展壯大，為我國高端微電子裝備的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化做出新的貢獻。
10年來，微電子>北方微電子在多個技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大突破。
一、刻蝕機等產(chǎn)品的成功研制，填補了國內(nèi)4項空白，帶動我國集成電路裝備研制水平的顯著提升
1)8英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。國內(nèi)首臺進入大生產(chǎn)線使用的8英寸集成電路核心工藝裝備，已成功銷往中芯國際、上海華虹、上海宏力、國家集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心等用戶，成為大生產(chǎn)線上的主力機臺，訂單累計1億元人民幣。
2)12英寸集成電路刻蝕機：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。國內(nèi)首臺進入大生產(chǎn)線驗證的12英寸集成電路核心工藝裝備，已完成主流生產(chǎn)線的工藝考核，主要工藝性能指標(biāo)達到國際同類產(chǎn)品水平，已取得客戶批量采購意向。
3)半導(dǎo)體照明刻蝕機：國際領(lǐng)先水平，填補國內(nèi)空白。全球范圍內(nèi)首次將12英寸集成電路刻蝕工藝技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體照明領(lǐng)域，已實現(xiàn)對彩虹藍光、三安光電、中鎵半導(dǎo)體、同方光電、大連路明、湖南華磊、神光安瑞等主流客戶的銷售，2011年市場占有率超過50%(其中應(yīng)用于藍寶石圖形化襯底的刻蝕機市場占有率超過80%)，訂單累計1億元人民幣。
4)太陽能光伏PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)設(shè)備：國際先進水平，填補國內(nèi)空白。設(shè)備采用平板式大產(chǎn)能設(shè)計，應(yīng)用多項集成電路核心技術(shù)，設(shè)備成膜的均勻性、減反射特性以及折射率等工藝技術(shù)指標(biāo)均達到國際先進水平，已取得生產(chǎn)線量產(chǎn)驗證。
二、PVD設(shè)備、MOCVD設(shè)備研發(fā)進展順利，產(chǎn)品創(chuàng)新不斷升級，帶動本土企業(yè)擺脫國外壟斷，搶占產(chǎn)業(yè)制高點。
1)12英寸PVD(物理氣相沉積)設(shè)備：該產(chǎn)品由歸國海外專家、國內(nèi)首批“千人計劃”學(xué)者帶隊攻關(guān)，采用國際領(lǐng)先的設(shè)計理念，產(chǎn)品可應(yīng)用于銅制程工藝，目前已完成客戶產(chǎn)品工藝測試。該產(chǎn)品研制成功后，將打破國外廠商壟斷。該產(chǎn)品還可拓展應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、TSV先進封裝領(lǐng)域。
2)金屬有機物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備：該產(chǎn)品國際領(lǐng)先的設(shè)計理念，一次可完成100片以上的2英寸芯片外延，產(chǎn)能是國外設(shè)備的2倍，已完成原理樣機的設(shè)計與組裝。該產(chǎn)品研制成功后，將大大提升我國半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)競爭力。
微電子>北方微電子通過十年的發(fā)展，掌握了多項核心技術(shù)，截至2011年6月底，共計申請國內(nèi)專利700余件，其中發(fā)明專利697件，PCT申請49件。
今年，是微電子>北方微電子成立的第十個年頭。近日，公司研發(fā)的12英寸65nm高密度等離子刻蝕機通過中芯國際北京工廠生產(chǎn)線全線工藝驗證，這標(biāo)志著繼成功攻克8英寸100nm刻蝕技術(shù)難關(guān)后，微電子>北方微電子在追趕國際領(lǐng)先集成電路裝備技術(shù)的道路上，又邁進了一大步。
今年，微電子>北方微電子又承接了國家“十二五”《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》重大專項(02專項)“32-22nm柵刻蝕機產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目、“45-22nm銅互連PVD設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目。
微電子>北方微電子董事長王巖在致辭中表示，微電子>北方微電子將繼續(xù)以推進高端微電子裝備國產(chǎn)化為使命，確保國家科技重大專項的完成，實現(xiàn)我國高端集成電路裝備的技術(shù)提升，同時將積極向節(jié)能環(huán)保、新能源等新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)拓展，爭取在更多技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。
下載文檔
