[導讀]MEMS(微機電系統(tǒng))技術在動作、加速度、傾斜角以及振動等傳感器中應用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢。MEMS加速度計和陀螺儀可成功實現(xiàn)更多符合成本效益
MEMS(微機電系統(tǒng))技術在動作、加速度、傾斜角以及振動等傳感器中應用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢。
MEMS加速度計和陀螺儀可成功實現(xiàn)更多符合成本效益、采用動作感應功能的設備。 MEMS運動傳感器為手機、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機帶來更直觀的人機界面，把用戶手腕、手臂和手的動作與應用程式、頁面內部及頁面之間的瀏覽、游戲機中的人物動作等功能連接起來，實現(xiàn)真正的人機即時互動。
資料保護是MEMS傳感器在便攜設備中的另一種應用。當出現(xiàn)自由落體或者其它異常動作時，MEMS加速度計可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅動器(HDD)的讀寫操作，并且將硬盤驅動器上的讀寫頭固定到安全位置。此外，MEMS加速度計也廣泛用于整合洗衣機或干衣機等家電中，可作為振動檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負荷，以防止機器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。
MEMS陀螺儀、角運動傳感器、用于人機界面的輔助加速度傳感器，為游戲機和遙控器帶來更生動的用戶體驗。陀螺儀可以提高數(shù)字攝像機和數(shù)碼相機的影像與照片清晰度，提升汽車導航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內或高樓林立的市區(qū)，通常沒有GPS信號，航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測動作、行駛距離和緯度，修正數(shù)字羅盤的讀數(shù)，為用戶不間斷地提供準確的導航資訊。
壓力傳感器可滿足應用對全量程和高分辨率的要求：應用實例包括手持設備的氣壓計功能和硬盤驅動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅動器小型化的趨勢和容量不斷地提升，讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因為氣壓變化而受到影響。
微機電聲學器件、或MEMS麥克風可提高現(xiàn)有和新興應用的音質、可靠性以及成本效益，包括手機、筆記本電腦、攝像機、數(shù)碼相機以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS麥克風組合成一個陣列可實現(xiàn)更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們在噪音很大和無法控制的環(huán)境內使用手機的頻率日漸增加，這個功能對于提高聲音清晰度有很大的幫助，同時可提高手機通話與會議的音質。
根據(jù)美國市調機構iSuppli調查，意法半導體是全球最大的消費電子和手機MEMS供應商，年收入超過2億美元。意法半導體擁有業(yè)界領先的8英寸晶圓生產(chǎn)線，以極高的加工精密度和大規(guī)模制造能力為特色，所制造的零組件公差極小，制造成本更具有相當?shù)氖袌龈偁幜Α?BR>
身為MEMS技術發(fā)展的領航者，意法半導體開始在單一封裝內整合多個傳感器，包括加速度計、陀螺儀、地磁計以及壓力傳感器，一體化解決方案可大幅提升各種應用的功能和性能。 iNEMO就是這種發(fā)展趨勢的實際案例。在這些多傳感器產(chǎn)品內，集成傳感器可實現(xiàn)自主和自動系統(tǒng)，監(jiān)測特定的條件，并根據(jù)監(jiān)測結果執(zhí)行相對應的操作，使用者不需要或只需稍微的介入即可。此外，‘智能傳感器’結合MEMS器件與整合處理性能，能獨立運作主要處理器之外的傳感器相關算法，有助于降低整體的系統(tǒng)功耗，對電池消耗極快的手持設備尤其重要。
硅微加工技術還被用于開發(fā)各種的熱流微機電系統(tǒng)器件。意法半導體是熱噴墨打印機噴頭市場的長期供應商，為主要的噴墨打印機制造商提供噴頭芯片。噴墨頭芯片內含有數(shù)百個微型通道，這些墨水通道與相對應的微型墨盒相連接。同一芯片上的加熱元件與控制電路將墨水蒸發(fā)，把微小墨水氣泡噴射到打印紙上。
MEMS加速度計和陀螺儀可成功實現(xiàn)更多符合成本效益、采用動作感應功能的設備。 MEMS運動傳感器為手機、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機帶來更直觀的人機界面，把用戶手腕、手臂和手的動作與應用程式、頁面內部及頁面之間的瀏覽、游戲機中的人物動作等功能連接起來，實現(xiàn)真正的人機即時互動。
資料保護是MEMS傳感器在便攜設備中的另一種應用。當出現(xiàn)自由落體或者其它異常動作時，MEMS加速度計可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅動器(HDD)的讀寫操作，并且將硬盤驅動器上的讀寫頭固定到安全位置。此外，MEMS加速度計也廣泛用于整合洗衣機或干衣機等家電中，可作為振動檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負荷，以防止機器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。
MEMS陀螺儀、角運動傳感器、用于人機界面的輔助加速度傳感器，為游戲機和遙控器帶來更生動的用戶體驗。陀螺儀可以提高數(shù)字攝像機和數(shù)碼相機的影像與照片清晰度，提升汽車導航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內或高樓林立的市區(qū)，通常沒有GPS信號，航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測動作、行駛距離和緯度，修正數(shù)字羅盤的讀數(shù)，為用戶不間斷地提供準確的導航資訊。
壓力傳感器可滿足應用對全量程和高分辨率的要求：應用實例包括手持設備的氣壓計功能和硬盤驅動器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅動器小型化的趨勢和容量不斷地提升，讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因為氣壓變化而受到影響。
微機電聲學器件、或MEMS麥克風可提高現(xiàn)有和新興應用的音質、可靠性以及成本效益，包括手機、筆記本電腦、攝像機、數(shù)碼相機以及助聽器或電子聽診器。將多個MEMS麥克風組合成一個陣列可實現(xiàn)更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們在噪音很大和無法控制的環(huán)境內使用手機的頻率日漸增加，這個功能對于提高聲音清晰度有很大的幫助，同時可提高手機通話與會議的音質。
根據(jù)美國市調機構iSuppli調查，意法半導體是全球最大的消費電子和手機MEMS供應商，年收入超過2億美元。意法半導體擁有業(yè)界領先的8英寸晶圓生產(chǎn)線，以極高的加工精密度和大規(guī)模制造能力為特色，所制造的零組件公差極小，制造成本更具有相當?shù)氖袌龈偁幜Α?BR>
身為MEMS技術發(fā)展的領航者，意法半導體開始在單一封裝內整合多個傳感器，包括加速度計、陀螺儀、地磁計以及壓力傳感器，一體化解決方案可大幅提升各種應用的功能和性能。 iNEMO就是這種發(fā)展趨勢的實際案例。在這些多傳感器產(chǎn)品內，集成傳感器可實現(xiàn)自主和自動系統(tǒng)，監(jiān)測特定的條件，并根據(jù)監(jiān)測結果執(zhí)行相對應的操作，使用者不需要或只需稍微的介入即可。此外，‘智能傳感器’結合MEMS器件與整合處理性能，能獨立運作主要處理器之外的傳感器相關算法，有助于降低整體的系統(tǒng)功耗，對電池消耗極快的手持設備尤其重要。
硅微加工技術還被用于開發(fā)各種的熱流微機電系統(tǒng)器件。意法半導體是熱噴墨打印機噴頭市場的長期供應商，為主要的噴墨打印機制造商提供噴頭芯片。噴墨頭芯片內含有數(shù)百個微型通道，這些墨水通道與相對應的微型墨盒相連接。同一芯片上的加熱元件與控制電路將墨水蒸發(fā)，把微小墨水氣泡噴射到打印紙上。
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