QMEMS將擠壓石英晶振和硅MEMS的空間

聲稱已經(jīng)占據(jù)23%晶振市場(chǎng)份額日本愛普生拓優(yōu)科夢(mèng)（Epson Toyocom）公司宣布他們采用類似半導(dǎo)體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS)，并保持在硅MEMS振蕩器市場(chǎng)的前列地位。

QMEMS的規(guī)格說(shuō)明書顯示出與競(jìng)爭(zhēng)的MEMS振蕩器（SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統(tǒng)等公司的產(chǎn)品）相比性能差不多或更好。

“傳統(tǒng)來(lái)說(shuō)MEMS需要硅工藝，所以他們叫我們的產(chǎn)品QMEMS，因?yàn)槲覀儾捎檬ⅲ皇枪?，”愛普生拓?yōu)科夢(mèng)的Debbie Word表示，“我們用石英晶圓在類似半導(dǎo)體廠的工廠里面生產(chǎn)，采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多，但我們使用的是石英材料。”

壓電石英晶體已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)，一旦在其中通過(guò)一個(gè)小電流，就可以產(chǎn)生設(shè)定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內(nèi)的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料，通過(guò)精密的切割和傾斜，可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。

幾年前，愛普生采用光刻工藝生產(chǎn)了厚度在2毫米下的音叉共鳴器，這個(gè)是傳統(tǒng)的切割和傾斜工藝不能達(dá)到的。這個(gè)工藝用在了QMEMS振蕩器上，從而在規(guī)格上可以與硅MEMS振蕩器競(jìng)爭(zhēng)。

市場(chǎng)分析報(bào)告顯示對(duì)于OEM來(lái)說(shuō)不會(huì)有什么改變?！癕EMS是可行的另一種非傳統(tǒng)的方案，因?yàn)榭梢栽诟偷膬r(jià)格提供增加的功能，”MEMS分析師Roger Grace表示，“工程師在尋找最好的可能的方案，如果QMEMS定時(shí)器芯片可以在最低的價(jià)格提供他們需要的功能，那該產(chǎn)品就會(huì)取得成功，不論采用何種生產(chǎn)工藝?！?/FONT>

愛普生拓優(yōu)科夢(mèng)還計(jì)劃采用QMEMS的工藝生產(chǎn)大氣壓力傳感器，并且已經(jīng)采用該工藝生產(chǎn)了超?。?* 2mm）陀螺儀，用于數(shù)碼相機(jī)的圖像穩(wěn)定防抖。