2010年臺DRAM廠將決戰(zhàn)50和40奈米制程技術(shù)，但新制程關(guān)鍵恐未必在技術(shù)上，而在于浸潤式微顯影(Immersion Scanner)機臺設(shè)備采購是否能跟上腳步，近期業(yè)界傳出瑞晶機臺原本2月要交貨，但目前交期已遞延至4月，南亞科和華亞科之前亦傳出機臺交貨不及，公司則澄清前期機臺已順利拉進來，轉(zhuǎn)換制程進度一切正常。
DRAM廠決戰(zhàn)50和40奈米制程技術(shù)最大挑戰(zhàn)是資金問題，其中，機臺購置成本占相當大比重，由于1臺機臺設(shè)備動輒要價新臺幣10億元，且每臺機器產(chǎn)能約僅1萬片，若1座產(chǎn)能達10萬片的12寸晶圓廠要轉(zhuǎn)換制程，光是機臺支出便高達 100億元，因此，大部分DRAM廠2009年都無力轉(zhuǎn)進50奈米制程。
隨著DRAM景氣逐漸復(fù)蘇，各廠開始為轉(zhuǎn)進50奈米制程做準備，并針對機臺下訂單，由于從下訂到交貨需要很久時間，日前甚至傳出三星電子(Samsung Electronics)將設(shè)備廠機臺產(chǎn)能都包下，使得其它DRAM廠很難訂到貨，趁機阻礙競爭對手制程微縮進度，盡管臺廠與國際大廠聯(lián)合采購機臺較具優(yōu)勢，象是南亞科、華亞科與美光(Micron)共同采購，力晶、瑞晶則與爾必達(Elpida)一起采購，但仍不斷傳出交期遞延消息。
瑞晶原本2月要到貨的機臺已遞延至4月交貨，其計劃第2季將導(dǎo)入45奈米制程;之前則傳出南亞科和華亞科機臺交期延后，但公司澄清前期機臺到貨時程順利，只剩下后期機臺還未進來，但不會影響轉(zhuǎn)換50奈米制程速度。事實上，瑞晶原評估旗下8萬片12寸晶圓產(chǎn)能轉(zhuǎn)進50奈米制程需要10臺機臺，但若轉(zhuǎn)入45奈米制程，在減少光罩數(shù)后，只需要6臺機臺，公司形容這是窮人版制程微縮產(chǎn)品。
爾必達陣營原本2009年評估要導(dǎo)入50奈米制程時，就預(yù)定機臺設(shè)備，但后來決定跳過50奈米，直攻45奈米制程，機臺拉貨則同步進行。爾必達和力晶、瑞晶2010年將一舉轉(zhuǎn)進45奈米制程，爾必達45奈米2009 年底宣布量產(chǎn)，瑞晶將在第2季導(dǎo)入生產(chǎn)，2010年底前8萬片產(chǎn)能全數(shù)轉(zhuǎn)進45奈米制程，第1季會先轉(zhuǎn)2萬片產(chǎn)能到63奈米XS版本試水溫，成本可較目前 65奈米制程減少20%。
至于南亞科和華亞科正積極轉(zhuǎn)進50奈米制程，在42奈米制程則將提前1季導(dǎo)入，其系由美光和南亞科共同研發(fā)，該陣營對于42奈米制程相當具信心，認為是目前40奈米制程世代成本競爭力最佳者。
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