ASML出貨全新光刻機(jī)NXT2000i:將用于7nm/5nm工藝
ASML是一家專注于光刻機(jī)研發(fā)和制造的企業(yè),它開(kāi)發(fā)的光刻機(jī)代表著目前世界最高水平,而現(xiàn)在這家光刻機(jī)巨頭已經(jīng)開(kāi)始出貨最先進(jìn)的NXT2000i光刻機(jī),未來(lái)將會(huì)用于全新的7nm和5nm的工藝。
ASML推出的NXT2000i光刻機(jī)光刻精度可以達(dá)到驚人的1.9nm,遠(yuǎn)低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。
目前ASML表示這款性能出眾的光刻機(jī)將于本年度末正式量產(chǎn),目前尚未確定光刻機(jī)的價(jià)格,不過(guò)按照目前ASML的定位,這款光刻機(jī)的定價(jià)應(yīng)該在幾千萬(wàn)至上億美元之間。ASML的3400B EUV光刻機(jī)的報(bào)價(jià)是1.2億美元一臺(tái),而14nm節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)報(bào)價(jià)則在7200萬(wàn)美元。
ASML公司占據(jù)了全球7成的光刻機(jī)市場(chǎng),同時(shí)也是Intel、臺(tái)積電、三星等晶圓制造商的供應(yīng)商。