Crossing Automation推出450mm晶圓開發(fā)平臺及傳送器

Crossing Automation, Inc.公司是芯片制造商和工具自動化產(chǎn)品的領(lǐng)先設(shè)計商既制造商，當今最主要的半導體裝置和設(shè)備公司均使用其產(chǎn)品。公司日前宣布推出450mm晶圓開發(fā)平臺和Crossing Certon 450晶圓傳送器，并已接獲領(lǐng)先的原始設(shè)備制造商(以下簡稱OEM)對這兩種產(chǎn)品的訂單。晶圓傳送器預計將在今年12月出貨，而開發(fā)平臺將在2012年第一季度出貨。

Crossing Automation市場營銷部副總裁May Su 表示：“毫無疑問，IDM(整合元件制造商)和OEM廠商都在增加450mm相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)活動。這些產(chǎn)品突出了我們在新產(chǎn)品開發(fā)方面的持續(xù)投資，而訂單證明了我們開發(fā)450mm晶圓市場的方向是正確的。”

Crossing 全新450mm晶圓開發(fā)平臺，為市場帶來一種獨特的、成本低廉且占地面積小的系統(tǒng)，使OEM廠商能夠平穩(wěn)地把晶圓移入或移出處理艙。這種單一的FOUP(前端開口片盒) EFEM(設(shè)備前端模塊)通過消除平臺開發(fā)上花費的時間，進而加快了OEM廠商研發(fā)450mm晶圓產(chǎn)品的生產(chǎn)速度。這種可高度擴展的平臺采用了Crossing公認的處理技術(shù)，由于沒有軟件和硬件接口的變化，OEM廠商可輕松進入批量生產(chǎn)階段。

Crossing Certon 450接口晶圓傳送器在市場上是獨一無二的，它提供了獲得專利、符合人體工程學的“傾斜—移動”技術(shù)，即僅用一個人就能完成安裝、卸載和工具移動。此功能允許快速安裝并快速存取EFEM或加工工具的內(nèi)部配件，晶圓傳送器80公斤的重量只有行業(yè)平均水平的一半，能提供更便捷的服務(wù)。Crossing Certon的其他特色還包括使處理能力最大化的集成制圖功能，和正在申請專利的水平關(guān)門機制。水平關(guān)門機制可確保恰當?shù)貙⑴撻T關(guān)閉，以防止損害晶圓和顆粒物的產(chǎn)生。Crossing公司的晶圓傳送器提供廣泛的功能，同時符合450mm FOUP、FOSB(前開口運裝箱)、MAC(多應(yīng)用載體)的標準。

市場營銷部副總裁May Su說：“這兩款新產(chǎn)品強調(diào)了我們對OEM客戶的承諾，使客戶能夠?qū)Ｗ⒂谘邪l(fā)工具，而不須操心450mm晶圓開發(fā)階段的運送處理問題。”