首次加入EVU極紫外光刻 臺(tái)積電二代7nm+工藝開始量產(chǎn)

臺(tái)積電官方宣布，已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝，這是臺(tái)積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù)，意義非凡，也領(lǐng)先INTEL、三星一大步。

臺(tái)積電表示，7nm+ EVU工藝的良品率已經(jīng)提高到和初代7nm同樣的水平，將今年帶動(dòng)7nm工藝芯片的產(chǎn)能顯著提升。

臺(tái)積電預(yù)計(jì)2019年的總產(chǎn)能折合可達(dá)1200萬(wàn)塊300mm晶圓，其中7nm工藝的會(huì)有100萬(wàn)塊，比去年猛增150%。

根據(jù)此前消息，華為麒麟985將率先應(yīng)用臺(tái)積電7nm+ EUV工藝，有望用于Mate 30系列。盡管遭遇美國(guó)限令，但是臺(tái)積電方面已經(jīng)明確表示，至少目前不會(huì)停止向華為供貨。

另外，蘋果的A13也已經(jīng)鎖定臺(tái)積電7nm+，今年的新iPhone就靠它了。

臺(tái)積電還透露，正穩(wěn)步推進(jìn)下一代5nm工藝，全面應(yīng)用EUV技術(shù)，已經(jīng)開始風(fēng)險(xiǎn)性試產(chǎn)，預(yù)計(jì)2020年第一季度量產(chǎn)。

位于臺(tái)灣南部科技園的新工廠Fab 18已經(jīng)開始設(shè)備搬遷與安裝，將在明年投產(chǎn)時(shí)直接上馬5nm，并為未來(lái)的3nm工藝做好準(zhǔn)備。

另外臺(tái)積電還有個(gè)過(guò)渡性質(zhì)的6nm工藝，基于7nm改進(jìn)而來(lái)，預(yù)計(jì)2020年第一季度試產(chǎn)，非常適合現(xiàn)有7nm工藝用戶直接升級(jí)。