MEMS快門顯示器的光導(dǎo)出效率將提高到80％

以基于MEMS技術(shù)的快門制造彩色顯示器的風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)美國Pixtronix宣布，計(jì)劃今后將光導(dǎo)出效率提高到80％以上。該公司參展了“FPD International 2008”。

該公司的技術(shù)是以MEMS快門對背照燈發(fā)出的光進(jìn)行開關(guān)操作，以顯示彩色視頻。能夠在與非晶硅TFT液晶面板生產(chǎn)線基本相同的工廠量產(chǎn)。由于其結(jié)構(gòu)為背照燈上面不重疊彩色濾光片和偏光版等光學(xué)薄膜，因此亮度和對比度比液晶面板出色。并且耗電量也比液晶面板低。

該公司目前的試制品的開口率為12％，對背照燈發(fā)出的光能導(dǎo)出60％。與開口率相比，之所以能夠提高導(dǎo)出效率，是因?yàn)樵诳扉T和背照燈之間的空間內(nèi)壁上形成了反射膜。在非開口部分反射的光再反射，最終大部分從開口部分射出。反射膜目前由Cr形成，其反射率為95％。

該公司今后將把光導(dǎo)出效率提高到80％以上。將改進(jìn)快門結(jié)構(gòu)、將開口率提高15％等加以實(shí)現(xiàn)。目前已經(jīng)完成開發(fā)，并且已對80％的效率進(jìn)行了驗(yàn)證。

該公司計(jì)劃于2010年初開始量產(chǎn)。屆時(shí)將利用液晶面板工廠。MEMS快門的制造需要追加工藝。但因只需3片掩膜，該部分的制造成本可控制在只上升8％左右?？扉T制造將采用以光刻膠為犧牲層的表面微加工技術(shù)，而需要追加的制造裝置只有用來去除光刻膠的等離子灰化裝置。

(編輯:xiaoyao)