東大生產(chǎn)研開發(fā)出基于卷對卷印刷技術(shù)的MEMS顯示器

東京大學(xué)生產(chǎn)技術(shù)研究所開發(fā)出了基于卷對卷印刷技術(shù)的MEMS顯示器。這是一款將印刷形成微細(xì)圖形的塑料薄膜粘貼為一體的透射型柔性顯示器。通過采用卷對卷方式生產(chǎn)，使每平米的生產(chǎn)成本可控制在數(shù)百日元左右。

　該顯示器除了可以彎折之外，還可通過靜電來控制顏色，并可輕松改寫顯示內(nèi)容。因此，將可作為廣告板粘貼在大型柱子上、電車、大樓的窗戶等處，還可作為無需更換即可改寫廣告內(nèi)容的廣告媒體使用。

　此次開發(fā)的顯示器在厚0.2mm左右的塑料底板上形成了光學(xué)反射膜（厚12nm的鋁）和光學(xué)干涉膜（厚210～370nm的SiO2膜）。通過使隔著氣隙隔片（厚0.6μm）內(nèi)的空氣層與帶光學(xué)反射膜的上部薄膜（厚16μｍ）粘貼為一體，從而實現(xiàn)了透射型彩色薄膜的功能。將光反射時使用的金屬反射膜作為靜電驅(qū)動用電極，如果對其施加電壓，頂部的薄膜就會在擠壓出空氣間隙內(nèi)的空氣的同時，向下部電極方向彎曲。此時，根據(jù)法布里-珀羅干涉原理，決定光波長的上下金屬反射膜的間隔會發(fā)生變化，因此透射光的顏色就會發(fā)生變化。此次，為使未施加驅(qū)動電壓時的透射光為灰色、而驅(qū)動時可以看見干涉膜的顏色（紅、綠、藍(lán)），因此對基于SiO2膜的光學(xué)干涉膜厚度重新進(jìn)行了設(shè)計。

　一般的液晶顯示器由約10層左右的圖案形成膜構(gòu)成，與其相比，此次開發(fā)的顯示器僅用6層即可構(gòu)成，因此可利用較簡單的方法生產(chǎn)。另外，還可生產(chǎn)最大為印刷機可印刷寬度（送紙設(shè)備寬度）的大型顯示器。

　今后，為了控制發(fā)色位置，該公司還將利用印刷技術(shù)制作尋址電路。另外，還期望將此次的可使在2張薄膜間形成的空氣層厚度發(fā)生變化的技術(shù)應(yīng)用于更多領(lǐng)域，例如，利用其可通過靜電改變光波長的特點，應(yīng)用于防紫外線的電子遮光器等。

本研究為產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究助成業(yè)務(wù)國際領(lǐng)域的重點研究項目，由東京大學(xué)生產(chǎn)技術(shù)研究所和芬蘭國立技術(shù)研究中心（VTT）共同進(jìn)行。（zengcong）