日本廠商提速開(kāi)發(fā)氧化物半導(dǎo)體TFT

用于液晶面板、OLED面板以及電子紙等顯示面板驅(qū)動(dòng)用途的氧化物半導(dǎo)體TFT的研發(fā)越來(lái)越活躍。其中，作為驅(qū)動(dòng)OLED面板的有力候補(bǔ)，氧化物半導(dǎo)體TFT更是備受期待。與原來(lái)采用非晶硅TFT相比，氧化物半導(dǎo)體TFT的載流子遷移率高達(dá)10cm2/Vs，是前者的10倍左右，這樣就便于提高OLED面板的亮度。另外，氧化物TFT的特性不均較小，而且電流的時(shí)間變化也較少。因此，可輕松抑制OLED顯示器的顯示不均現(xiàn)象，適于大面積化用途。另外，由于氧化物TFT可通過(guò)濺射法制造，因此導(dǎo)入時(shí)無(wú)需大幅改變現(xiàn)有的液晶面板生產(chǎn)線。

鑒于上述優(yōu)點(diǎn)，韓國(guó)LG顯示器（LGDisplay）、韓國(guó)三星電子（SamsungElectronics）以及臺(tái)灣友達(dá)光電（AUOptronics）等韓國(guó)和臺(tái)灣的大型面板廠商紛紛加大氧化物TFT的開(kāi)發(fā)力度，日本廠商則是最近才開(kāi)始大力開(kāi)發(fā)。

夏普在2009年12月舉行的顯示器技術(shù)國(guó)際學(xué)會(huì)“16thInternationalDisplayWorkshops（IDW’09）”上，公開(kāi)了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA（320×240像素）液晶面板。氧化物半導(dǎo)體采用了IGZO（In-Ga-Zn-O）。

凸版印刷的TFT采用了可進(jìn)行涂布的氧化物半導(dǎo)體。由于采用了涂布工藝，有望降低制造成本。該公司試制出了將制造工序中的最高溫度降至270℃的氧化物TFT。與采用原來(lái)涂布工藝制造的氧化物TFT相比，其最高溫度“要低100℃以上”（凸版印刷）。凸版印刷的試制品是在玻璃底板上制作的，通過(guò)旋轉(zhuǎn)覆蓋（SpinCoat）對(duì)氧化物半導(dǎo)體進(jìn)行涂布成膜。柵極絕緣膜以及源極等各個(gè)電極都可采用原來(lái)的制造工序。

雖然比不上采用濺射法制造的產(chǎn)品，但凸版印刷的試制品實(shí)現(xiàn)了與普通非晶硅TFT同等程度的特性，遷移率超過(guò)0.5cm2/Vs，開(kāi)關(guān)比超過(guò)105。特點(diǎn)是將電子紙和液晶面板的驅(qū)動(dòng)納入考慮范圍。凸版印刷已經(jīng)利用該試制品成功地驅(qū)動(dòng)了美國(guó)EInk生產(chǎn)的2英寸電子紙。（編輯：璇子）