有關(guān)柔性、氧化物TFT、液晶配向以及3D的新技術(shù)備受矚目

在顯示器國(guó)際會(huì)議“17th International Display Workshop（IDW '10）”（2010年12月1～3日，福岡國(guó)際會(huì)議中心）第二天分會(huì)上筆者看到了一些頗感興趣的內(nèi)容，特在此介紹給各位讀者。

在柔性與OLED（有機(jī)EL）的聯(lián)合分會(huì)上，臺(tái)灣ITRI（Industrial Technology Research Institute，工業(yè)技術(shù)研究院）發(fā)布了基于玻璃基板制造工藝的柔性有機(jī)EL面板制造工藝（論文序號(hào)：FLX4/OLED4-2）。其做法是，首先在玻璃基板上貼上PI基板，在緩沖層上利用與普通玻璃基板相同的工藝形成TFT。然后，在該基板上形成有機(jī)EL層，在薄膜封裝工序后剝離玻璃基板，制成柔性有機(jī)EL面板。ITRI正以實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)為目標(biāo)，開發(fā)該“Sheet to Sheet工藝”。從可靠性測(cè)試的評(píng)測(cè)結(jié)果來看，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)之前還需要克服許多問題，不過通過此次發(fā)布可以清楚地看出，臺(tái)灣業(yè)界對(duì)柔性顯示器市場(chǎng)寄予了厚望。

在AMD（Active Matrix Display，有源矩陣顯示器）與有機(jī)EL的聯(lián)合分會(huì)上，臺(tái)灣友達(dá)光電（AU Optronics，AUO）公布了利用第6代生產(chǎn)線專為大尺寸有源矩陣型有機(jī)EL面板而開發(fā)的IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT（論文編號(hào)：AMD5/OLED6-1）。TFT的構(gòu)造為反向通道蝕刻（Back Channel Etch）型，就退火工藝而言，最后只進(jìn)行一個(gè)小時(shí)的250℃高溫處理。由于TFT構(gòu)造采用反向通道蝕刻型，因此液晶面板用TFT可以通過5張掩模、有機(jī) EL面板用TFT可以通過6張掩模進(jìn)行制造。為了避免對(duì)通道造成等離子損傷（Plasma Damage），友達(dá)光電將感光性有機(jī)材料用作鈍化膜。實(shí)現(xiàn)了8.9cm2/Vs的遷移率和0.3V/dec的s參數(shù)。Vth偏差在所有第6代基板中為0.2V。壓力測(cè)試的結(jié)果是：200ksec加載10V振幅的掃描脈沖后有＋0.9V的Vth漂移，50ksec加載±10V的50％占空AC信號(hào)后有＋1.7V的Vth漂移，仍需改進(jìn)。為了防止因有機(jī)EL工序中使用的UV（紫外線）而造成損傷，友達(dá)光電一直采用塗布型TiOx膜來防止TFT的劣化。

在接下來的發(fā)布中，索尼采用ITZO（In-Sn-Zn-O）TFT而非IGZO試制了有機(jī)EL面板（論文序號(hào)：AMD5/OLED6-2）。該有機(jī) EL面板為8英寸UWXGA（1600×768像素），通過ITZO TFT內(nèi)置了掃描驅(qū)動(dòng)電路和DeMUX選擇器電路。與相同構(gòu)造的TFT進(jìn)行比較，IGZO的遷移率為11.5cm2/Vs，通過采用ITZO提高到了30.9cm2/Vs。在Vgs＝15V、Vds＝15V、溫度為50℃的BTS試驗(yàn)中，Vth偏移為0.1V。另外，ITZO的濺射靶為日本出光興產(chǎn)制造。

在LCT（LC Science and Technologies）分會(huì)上，索尼介紹了其在2010年6月于美國(guó)舉行的學(xué)會(huì)“SID”上發(fā)布的FPA（field induced photo-reactive alignment）的改良款“Hybrid FPA”（論文序號(hào)：LCT4-5L）（參閱本站報(bào)道）。一般情況下，如果在VA模式下擴(kuò)大預(yù)傾角，液晶的上升時(shí)間會(huì)變快，不過下降時(shí)間會(huì)變慢，還會(huì)由于漏光而導(dǎo)致對(duì)比度降低。如果減小預(yù)傾角，對(duì)比度會(huì)得到提高、下降時(shí)間會(huì)變快，不過上升時(shí)間會(huì)變慢，存在一種此消彼長(zhǎng)（Trade-off）的關(guān)系。據(jù)索尼介紹，Hybrid FPA是一種只在單側(cè)基板采用光配向技術(shù)（FPA模式）并施加預(yù)傾角，另一側(cè)基板為垂直配向狀態(tài)的液晶模式，在上升時(shí)間、下降時(shí)間以及對(duì)比度方面均較為出色。FPA用配向膜由JSR生產(chǎn)，不過沒有公布配向膜材料的詳細(xì)情況。據(jù)索尼介紹，比較FPA模式和Hybrid FPA模式后發(fā)現(xiàn)，下降時(shí)間由3.4ms改善至3.2ms，黑電平（Black Level）由0.5cd/m2改善至0.42 cd/m2。

關(guān)于三維（3D）顯示器方面，筆者在展板展示上發(fā)現(xiàn)了一項(xiàng)頗為有趣的發(fā)布。這就是由NTT DoCoMo參考展出的“碰觸3D”（論文序號(hào)：3Dp-13L）（參閱本站報(bào)道）。 NTT DoCoMo事先在裸眼型3D顯示器的背面嵌入了線圈，具有通過磁力使筆尖安裝有磁鐵的特殊筆反彈回來的功能。由于筆尖的位置可以通過攝像頭進(jìn)行三維檢測(cè)，因此可以實(shí)現(xiàn)多種體驗(yàn)內(nèi)容。比如將筆靠近變色龍面部附近時(shí)，用戶能夠感受到猶如變色龍真地用舌頭將筆頂起的感覺。采用該功能可以制作多種游戲。任何精彩的圖像都必須具有“新奇性”。筆者認(rèn)為，終究3D的生命力還是在于內(nèi)容。（特邀撰稿人：松枝 洋二郎，臺(tái)灣友達(dá)光電）

圖1：NTT DoCoMo在海報(bào)展上參考展出的“碰觸3D”（論文序號(hào)：3Dp-13L）（點(diǎn)擊放大）