AIXTRON CRIUS II首批落戶臺灣奇美，性能超預(yù)期
[導(dǎo)讀]AIXTRON于2011年4月21日宣布其最新的MOCVD平臺系統(tǒng)CRIUS II已經(jīng)順利完成安裝調(diào)試投入生產(chǎn)，該設(shè)備的工藝穩(wěn)定性、一致性和生產(chǎn)量均超過預(yù)期。首家客戶為臺灣南部的奇美集團(tuán)。
CRIUS II易于調(diào)試，還可以轉(zhuǎn)換為2英寸、
AIXTRON于2011年4月21日宣布其最新的MOCVD平臺系統(tǒng)CRIUS II已經(jīng)順利完成安裝調(diào)試投入生產(chǎn)，該設(shè)備的工藝穩(wěn)定性、一致性和生產(chǎn)量均超過預(yù)期。首家客戶為臺灣南部的奇美集團(tuán)。
CRIUS II易于調(diào)試，還可以轉(zhuǎn)換為2英寸、4英寸或者6英寸晶圓的生產(chǎn)。和CRIUS相比，CRIUS II的生產(chǎn)能力從31 x2英寸提升為55 x2英寸或13 x4英寸，由于生產(chǎn)大尺寸晶圓是降低成本的關(guān)鍵，CRIUS II可以大大提高HB-led的生產(chǎn)力并降低成本。另外，由于該系統(tǒng)特有的密封耦合噴灑反應(yīng)腔技術(shù)，只需應(yīng)用簡單的大面積換算系數(shù)，現(xiàn)有CRIUS用戶即可順利轉(zhuǎn)換成CRIUS II。
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