氧化物半導(dǎo)體TFT驅(qū)動的中小型液晶面板，夏普2011年內(nèi)量產(chǎn)

時間：2011-06-08 07:31:00

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[導(dǎo)讀]圖1：開發(fā)的概要（點擊放大）圖2：載流子遷移率的比較（點擊放大）圖3：采用IGZO TFT可提高開口率（點擊放大）圖4：10英寸試制品的耗電量降至2/3 （點擊放大）夏普2011年4月21日宣布，將開發(fā)驅(qū)動元件

圖1：開發(fā)的概要（點擊放大）

圖2：載流子遷移率的比較（點擊放大）

圖3：采用IGZO TFT可提高開口率（點擊放大）

圖4：10英寸試制品的耗電量降至2/3 （點擊放大）
夏普2011年4月21日宣布，將開發(fā)驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體TFT的液晶面板，并于2011年內(nèi)在該公司的龜山第二工廠開始量產(chǎn)。量產(chǎn)采用氧化物半導(dǎo)體TFT驅(qū)動的液晶面板為“全球首例”（夏普顯示器元件事業(yè)本部副本部長迫周司）。將用于需求有望擴大的智能手機和平板終端等配備10英寸以下中小型面板的產(chǎn)品。

將量產(chǎn)IGZO TFT

驅(qū)動元件使用的氧化物半導(dǎo)體TFT為非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。非晶IGZO迄今已有韓國三星電子和索尼等日本、韓國及臺灣的廠商作為大型有機EL面板和“4K×2K”（4000×2000像素）的液晶面板驅(qū)動元件進行了開發(fā)。夏普也在2009年舉行的顯示器相關(guān)學(xué)會“IDW”上發(fā)布了2.6英寸的開發(fā)品（參閱本站報道1）。

夏普計劃開始量產(chǎn)的IGZO TFT是與日本半導(dǎo)體能源研究所共同開發(fā)的產(chǎn)品。載流子遷移率“比原來的非晶硅TFT高出20～50倍左右”（迫）。IGZO TFT與非晶硅TFT相比能夠縮小晶體管尺寸，所以不但可提高液晶面板像素的開口率，還容易實現(xiàn)高精細(xì)化。夏普開發(fā)的1366×768像素（FWXGA）的10英寸液晶面板耗電量降至原產(chǎn)品的約2/3。不過，“超過300ppi的高精細(xì)面板，計劃采用載流子遷移率比IGZO TFT還要高的、由夏普自主開發(fā)的低溫多晶硅TFT技術(shù)‘CG硅’進行量產(chǎn)”（迫）。

龜山第二工廠此前一直量產(chǎn)用于電視等的大型液晶面板。夏普的迫周司自信地表示，為量產(chǎn)IGZO TFT驅(qū)動的中小型面板，“只需改動部分制造設(shè)備即可。通過采用第8代玻璃基板（2160mm×2460mm）量產(chǎn)中小型面板，可提高成本競爭力”。不過夏普沒有公布具體的TFT結(jié)構(gòu)及制造工藝的流程等。今后，龜山第二工廠將量產(chǎn)非晶硅TFT驅(qū)動的大型面板和IGZO TFT驅(qū)動的中小型面板，不過“具體產(chǎn)量涉及經(jīng)營戰(zhàn)略，因此不便回答”（迫）。

未介紹龜山第一工廠今后的情況

隨著智能手機和平板終端需求的擴大，夏普將開始在原來生產(chǎn)大型面板的龜山第二工廠量產(chǎn)中小型面板。有報道稱，夏普計劃在2010年底已將生產(chǎn)設(shè)備出售給中國企業(yè)的龜山第一工廠的廠房內(nèi)新設(shè)低溫多晶硅TFT生產(chǎn)線（參閱本站報道2/FONT>）。另外，據(jù)《日刊工業(yè)新聞》報道，預(yù)計會全額負(fù)擔(dān)龜山第一工廠生產(chǎn)線設(shè)備投資的美國蘋果公司“預(yù)定2012年上市的新款“iPhone”中使用的中小型液晶面板，日本的供應(yīng)商已經(jīng)限定為東芝一家”。對此，夏普于2011年4月20日剛提出過抗議。

在4月21日的發(fā)布會上，有記者問到了龜山第一工廠今后的情況，不過夏普的迫周司只回答說，“這屬于特定事項，今天不便回答”。（記者：佐伯真也）