拓墣產(chǎn)研：MOCVD大熱 中國(guó)投入開(kāi)發(fā)單位近20家

2010年全球led產(chǎn)業(yè)整體成長(zhǎng)快速，年增長(zhǎng)率高達(dá)42%，隨著技術(shù)的提升LED應(yīng)用市場(chǎng)逐漸燒至照明應(yīng)用領(lǐng)域，刺激上游需求，LED主設(shè)備MOCVD投資需求急速暴增。目前國(guó)際上MOCVD設(shè)備廠商主要為Aixtron、Veeco兩家廠商，其占據(jù)全球九成以上的市場(chǎng)。但隨著LED照明應(yīng)用漸漸趨近，終端未來(lái)應(yīng)用市場(chǎng)的可期，MOCVD設(shè)備的制造生產(chǎn)引來(lái)更多國(guó)際設(shè)備廠商關(guān)注，其中不乏有國(guó)際設(shè)備巨頭，如Applied Materials（應(yīng)用材料），積極投入MOCVD設(shè)備的研發(fā)，同時(shí)加強(qiáng)與國(guó)際半導(dǎo)體代工大廠臺(tái)積電合作，力圖在設(shè)備及工藝上取得重大突破。此外，韓國(guó)的Jusung（周星）積極加強(qiáng)與LED代工廠合作，推出高速M(fèi)OCVD，力求快速突破市場(chǎng)。韓國(guó)VTS、Hanvac、日本Powdec、英國(guó)EMF等也積極加大MOCVD設(shè)備提升。據(jù)拓墣產(chǎn)業(yè)研究所（TRI）觀察，預(yù)計(jì)未來(lái)還會(huì)有更多的國(guó)際設(shè)備大廠商加入，促進(jìn)各環(huán)節(jié)設(shè)備的改善，提升工藝技術(shù)和產(chǎn)值能力。未來(lái)MOCVD設(shè)別能力提升主要體現(xiàn)：其一是襯底尺寸逐漸增大化，即逐漸向由2英寸向4英寸、6英寸、8英寸襯底發(fā)展；其二設(shè)備多腔室同步工藝化，即有目前的單個(gè)腔室工藝逐步向雙腔室、四腔室等多腔室工藝發(fā)展。

序號(hào)	單位/高校	規(guī)格	技術(shù)來(lái)源
1	廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司	37*2‘	華中科技大學(xué)
2	上海藍(lán)寶光電材料有限公司	3*2	中科院
3	正泰理想新能源設(shè)備有限公司
4	青島杰生電氣有限公司	6*2’	西安電子科技大學(xué)
5	西安光學(xué)精密機(jī)械研究所	3*2’	中科院
6	中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司	7*2‘	中科院
7	青島精誠(chéng)華旗微電子設(shè)備有限公司	3*2‘
8	東莞中鎵半導(dǎo)體科技有限公司		北京大學(xué)
9	華光慧能		法國(guó)CSMEC
10	江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司		香港華晟
11	中電48所	6*2’
12	北京泰科諾科技有限公司	3*2'
13	清華大學(xué)集成光電子實(shí)驗(yàn)室
14 [!--empirenews.page--]	山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
15	中科院半導(dǎo)體研究所
16	福建省半導(dǎo)體照明工程技術(shù)中心
17	華南師范大學(xué)信息光電子科技學(xué)院
18	南京大學(xué)江蘇省光電信息功能材料實(shí)驗(yàn)室