夏普2011年內量產IGZO TFT，龜山工廠向中小液晶面板傾斜

時間：2012-01-19 15:51:00

關鍵字： TFT 夏普液晶面板 LTPS

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[導讀]IGZO TFT面板（右）與非晶硅TFT面板（左）耗電量的比較（攝影：夏普）夏普將于2011年內開始量產驅動元件采用非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）類氧化物半導體TFT（以下稱IGZO TFT）的液晶面板。這種面板是與日本半導體能源

IGZO TFT面板（右）與非晶硅TFT面板（左）耗電量的比較（攝影：夏普）
夏普將于2011年內開始量產驅動元件采用非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）類氧化物半導體TFT（以下稱IGZO TFT）的液晶面板。這種面板是與日本半導體能源研究所共同開發(fā)的，為“全球首次實現(xiàn)量產”（夏普）。該公司計劃改造目前作為非晶硅TFT生產線的龜山第二工廠，生產用于智能手機和平板終端等的10英寸以下中小型面板。

龜山第二工廠此前一直生產主要用于電視機的大尺寸面板。由于大屏幕電視機市場行情惡化，而智能手機和平板終端的需求增加，因此夏普決定將龜山第二工廠轉產中小型面板。另外，龜山第一工廠也已把生產設備出售給了中國的南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司，目前“正在引進新的中小型液晶面板生產設備”（夏普）注1）。夏普的目的是通過這些措施來強化中小型面板業(yè)務。

注1）關于龜山第一工廠的設備投資，曾有報道稱將由蘋果負擔。對此，夏普表示，“涉及特定客戶交易的內容不予答復”。

以低成本生產高精細面板

盡管如此，龜山第二工廠仍無法直接生產超過200ppi的高精細面板。原因是非晶硅TFT的載流子遷移率較低，很難縮小TFT的尺寸。一般采用低溫多結晶硅（LTPS）TFT來生產高精細中小型面板，其載流子遷移率可達非晶硅TFT的100倍以上。

夏普表示，龜山第二工廠計劃采用的IGZO TFT“載流子遷移率比非晶硅TFT高出20～50倍，可將TFT縮小至1/5左右”（夏普）（表1）。通過提高像素的開口率，可實現(xiàn)低耗電和高精細。耗電量方面，作為10.8英寸、1366×800像素的試制面板，IGZO TFT面板約為非晶硅TFT面板的2/3。高精細度方面，“最高可達到300ppi”（夏普），接近該公司自主開發(fā)的LTPS TFT技術——“CG硅”TFT。

IGZO TFT與LTPS TFT相比，可進一步降低生產成本。原因是不需要像LTPS TFT那樣，通過激光退火處理來完成通道部分的結晶過程，所以更容易加大TFT特性不均現(xiàn)象較少的玻璃基板。夏普沒有公布制造工藝的詳細內容，但表示“只需要改進龜山第二工廠的部分生產設備即可。使用第8代玻璃基板生產中小型面板，所以成本競爭力更高”。此外，IGZO TFT的技術還可用于有機EL面板。（記者：佐伯真也）