韓國(guó)大邱慶北科學(xué)技術(shù)院將使用Aixtron系統(tǒng)生產(chǎn)單根納米管陣列

德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司昨(8.9)日宣布，該公司獲得了來(lái)自南韓大邱慶北科學(xué)技術(shù)院(DGIST)的一份訂單。合同簽訂的一套BM II(2英寸)系統(tǒng)將會(huì)用于3D設(shè)備的碳納米管(CNT)陣列沉積，例如納米天線、納米整流器等。目前系統(tǒng)已由愛思強(qiáng)的當(dāng)?shù)胤?wù)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行安裝和調(diào)試。

“我們正在開發(fā)的獨(dú)特設(shè)備，要求對(duì)碳納米管沉積位置進(jìn)行精確控制，實(shí)現(xiàn)單根垂直排列。” DGIST信息及通信工程部的Jae Eun Jang教授表示，“而這正是以等離子為基礎(chǔ)的愛思強(qiáng)BM系統(tǒng)比我們所考慮的其它系統(tǒng)更加出色的地方。事實(shí)上，BM系統(tǒng)使我們能夠在碳納米管生長(zhǎng)過程中，以可重復(fù)生產(chǎn)的方式可靠地實(shí)現(xiàn)對(duì)生長(zhǎng)參數(shù)和納米管排列的最佳控制。”

雖然碳納米管設(shè)備方面的研究在過去十年間取得了長(zhǎng)足發(fā)展，但在大面積下對(duì)納米管數(shù)量和位置進(jìn)行精確控制(這是生產(chǎn)集成電路所必須的技術(shù))僅僅是其中的重大挑戰(zhàn)之一。DGIST采用愛思強(qiáng)的BM系統(tǒng)，正是為了解決這些難題。

“BM系統(tǒng)通過一種和現(xiàn)有硅技術(shù)相兼容的工藝，使我們能夠根據(jù)所需尺寸準(zhǔn)確地控制碳納米管在預(yù)定位置的單根垂直生長(zhǎng)。單根納米管的垂直走向是一個(gè)關(guān)鍵要素，能使我們?cè)趥鹘y(tǒng)設(shè)備的基礎(chǔ)上大幅縮小設(shè)備單元面積。這種垂直納米管不僅可以應(yīng)用到電子和通信設(shè)備領(lǐng)域，并且也被我們應(yīng)用到納米機(jī)電和機(jī)器人系統(tǒng)等創(chuàng)新應(yīng)用范疇。” Jang教授總結(jié)道。

Jang教授在韓國(guó)首爾的漢陽(yáng)大學(xué)取得工程學(xué)學(xué)士學(xué)位，并于英國(guó)劍橋大學(xué)獲得博士學(xué)位。主要成就包括2010年韓國(guó)國(guó)際信息顯示設(shè)備展覽會(huì)(IMID 2010)“杰出論文獎(jiǎng)”，以及2009年三星電子“創(chuàng)新發(fā)明獎(jiǎng)”和2008年“三星最佳論文銀獎(jiǎng)”等其它獎(jiǎng)項(xiàng)。目前的研究方向包括無(wú)線通信系統(tǒng)、3D電子設(shè)備、傳感器、柔性電子/可穿戴計(jì)算機(jī)、人機(jī)交互設(shè)備和光學(xué)快門。

編輯：李杰