明年全球6代LTPS生產(chǎn)線將陸續(xù)量產(chǎn)

全球掀起高階面板LTPS(低溫多晶硅)、IGZO(金屬氧化物半導(dǎo)體)技術(shù)投資熱，應(yīng)用材料宣布，推出新的物理氣相沉積(PVD)和等離子強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)，可以提供5代、6代到8.5代的設(shè)備。AKT指出，其中又以日本、大陸投資最積極，明年6代LTPS生產(chǎn)線將陸續(xù)量產(chǎn)。

應(yīng)用材料宣布，推出新的PVD和等離子強(qiáng)化PECVD技術(shù)，Applied AKT-PiVot物理氣相沉積和Applied AKT-PX 等離子強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積薄膜沉積系統(tǒng)提供高效能、符合成本效益的途徑，帶動(dòng)先進(jìn)材料的量產(chǎn)可用來制造更快速、更小巧的薄膜晶體管，適用于液晶顯示器和OLED技術(shù)。

蘋果的iPhone與iPad面板，均使用LTPS面板，LTPS也成為了高階行動(dòng)產(chǎn)品主流技術(shù)，帶動(dòng)投資熱潮。AKT指出，以現(xiàn)況來看，客戶傾向興建6代新廠，相比過去4.5代廠，面板生產(chǎn)成本估計(jì)可以降低20%～30%。而目前又以日本和大陸投資最為積極。大陸京東方今年在內(nèi)蒙投資了一條5.5代LTPS生產(chǎn)線，而鴻海集團(tuán)的天億也在成都砸下人民幣220億元，規(guī)劃3萬片LTPS面板的產(chǎn)能，以及3萬片IGZO產(chǎn)能，預(yù)計(jì)2013年下半年投產(chǎn)。至于日本的JDI和夏普也都投資了6代LTPS生產(chǎn)線。

AKT顯示器事業(yè)群營(yíng)銷長(zhǎng)Max McDaniel表示，針對(duì)采用金屬氧化物TFT，使用專屬的旋轉(zhuǎn)陰極技術(shù)來沉積IGZO，這是具有高電子遷移率的新材料，能形成晶體管通道，克服影響顯示器質(zhì)量的顯示不均缺陷。此外，由PiVot沉積的銦鎵鋅氧化物薄膜突破了TFT 穩(wěn)定性問題，確保OLED可以使用金屬氧化物背板，大幅降低成本。

LTPS技術(shù)是一直面臨玻璃基板放大問題和單位制造成本高昂的挑戰(zhàn)。AKT-PX等離子強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的全新擴(kuò)充系列產(chǎn)品，可在1.6平方公尺到5.7平方公尺的玻璃基板上沉積出極為均勻的LTPS薄膜。這些加大的基板，讓面板制造商能夠?qū)崿F(xiàn)經(jīng)濟(jì)規(guī)模，大幅提高產(chǎn)能并降低成本。