應(yīng)用材料公司發(fā)布IGZO用和支持8.5代基板的LTPS成膜設(shè)備

美國應(yīng)用材料公司2012年10月31日在橫濱召開了新聞發(fā)布會，發(fā)布了氧化物半導(dǎo)體IGZO（In-Ga-Zn-O）用成膜設(shè)備以及支持第8.5代基板的低溫多晶硅（LTPS）用成膜設(shè)備的新產(chǎn)品。這些設(shè)備能夠降低新一代液晶顯示屏及有機EL顯示屏的制造成本。

為了實現(xiàn)高性能液晶顯示屏和有機EL顯示屏的量產(chǎn)，各廠商開始積極采用LTPS及IGZO等新一代TFT材料。這些新材料與目前主流的非晶硅（a-Si）材料相比，遷移率等性能高，作為提高顯示器的顯示性能、實現(xiàn)低功耗化和低成本化的技術(shù)備受期待。尤其在有機EL電視領(lǐng)域，這些新材料有助于大幅延長顯示器的壽命，優(yōu)點更為顯著。

在發(fā)布會上，應(yīng)用材料首先發(fā)布了三種LTPS用CVD裝置，分別是支持第5代基板的“AKT-15KPX”、支持第6代基板的“AKT-25KPX”以及支持第8.5代基板的“AKT-55KPX”。該公司表示，“此前業(yè)界一直認(rèn)為制造支持第8.5代基板的LTPS用CVD裝置極為困難，但我們終于成功推出了全球首款設(shè)備”。

應(yīng)用材料充滿自信地表示，“在LTPS用CVD設(shè)備領(lǐng)域，只有我們的產(chǎn)品能夠覆蓋從第4.5代到第8.5代基板”。該公司預(yù)測稱，雖然目前仍然存在成本高的問題，但隨著便攜設(shè)備的快速普及，LTPS顯示屏也將在世界范圍普及。

隨后，應(yīng)用材料又發(fā)布了已被多家面板廠商采用的IGZO用濺鍍設(shè)備“AKT-PiVot IGZO”。該產(chǎn)品的特點是，在圓柱狀靶材旋轉(zhuǎn)的同時進行掃描，使得原來的平板式設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)的結(jié)瘤物明顯減少。此外，該設(shè)備還采用了該公司稱之為“魔法產(chǎn)品”的、在轉(zhuǎn)子內(nèi)側(cè)帶動磁鐵運動的系統(tǒng)，保持了出色的均質(zhì)性，從而使得此前IGZO顯示屏的一大課題——顯示不均現(xiàn)象大為減少，能夠確保較高的成品率和生產(chǎn)效率。因此，該設(shè)備可為降低顯示器的制造成本作出貢獻(xiàn)。

采用IGZO的顯示屏已從2012年開始量產(chǎn)。在“FPD International 2012”（10月31日～11月2日，太平洋橫濱國際會展中心）展示會場內(nèi)的半導(dǎo)體能源研究所的展區(qū)等，也能看到a-Si TFT顯示器與IGZO TFT顯示器的對比展示。