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[導(dǎo)讀]Oxide TFT已成為2011年面板業(yè)界最熱門的話題之一。包括日本Sharp和韓國三星Samsung、LG Display,以及臺灣的友達(dá)(2409)等面板大廠,近來都持續(xù)針對Oxide TFT技術(shù)加強(qiáng)布局。其中,Sharp已將旗下龜山8代線設(shè)為Oxide

Oxide TFT已成為2011年面板業(yè)界最熱門的話題之一。包括日本Sharp和韓國三星Samsung、LG Display,以及臺灣的友達(dá)(2409)等面板大廠,近來都持續(xù)針對Oxide TFT技術(shù)加強(qiáng)布局。其中,Sharp已將旗下龜山8代線設(shè)為Oxide TFT技術(shù)之生產(chǎn)據(jù)點,并已推出10.8寸Oxide TFT面板。三星也積極取得多項Oxide TFT技術(shù)相關(guān)專利,并推出10.1寸Oxide TFT面板。至于LG Display和友達(dá)則已分別推出4.3寸、4寸之高解析度Oxide TFT面板。


根據(jù)工研院IEK資料顯示,主要系因為現(xiàn)有非晶矽a-Si TFT制程良率雖高,但在提升解析度上有所限制,而廠商積極切入的LTPS低溫多晶矽TFT技術(shù)雖有利于提升面板解析度,并且mobility遷移率也高,但制程光罩?jǐn)?shù)量較多、成本較高。此外,LTPS TFT技術(shù)在進(jìn)行大面積雷射退火時,良率不易控制,在面板的尺寸發(fā)展上亦有障礙,目前僅以中小尺寸為主。

而Oxide TFT技術(shù)因結(jié)合了a-Si TFT與LTPS TFT技術(shù)之優(yōu)點,同時可利用濺鍍法制造,并且無須將現(xiàn)有的生產(chǎn)線作太多變動或投注更多資金添購設(shè)備。市場研究機(jī)構(gòu)IDC表示,面板廠商只需改變材料,同時投入時間及人力調(diào)整制程參數(shù),就可提高良率。此外,Oxide TFT面板的產(chǎn)品發(fā)展也利于朝大尺寸推進(jìn)。

目前包括韓系面板大廠三星、LG,以及日本Sharp,甚至臺灣的友達(dá)(2409)都已陸續(xù)投入Oxide TFT技術(shù)。不過,可能是受到資源限制影響,目前還是以日韓面板廠態(tài)度較為積極,并且技術(shù)面也領(lǐng)先。

Sharp系于2011年4月間發(fā)表以O(shè)xide TFT技術(shù)生產(chǎn)的TFT-LCD液晶面板,是全球第一家正式將Oxide TFT技術(shù)導(dǎo)入量產(chǎn)的面板廠。該公司曾表示,未來可能會將Oxide TFT技術(shù)應(yīng)用于10寸以下中小尺寸(如智慧型手機(jī)應(yīng)用)面板生產(chǎn),近來更發(fā)表了10.8寸、解析度達(dá)1366x800(FWXGA)、300PPI的面板,其耗電量僅傳統(tǒng)同尺寸TFT面板的2/3。

Samsung則系于2011年7月間與日本科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)JSL針對使用氧化物半導(dǎo)體IGZO TFT技術(shù)專利,簽署了授權(quán)協(xié)議,此外,三星也從東京工業(yè)大學(xué)等單位取得數(shù)十項相關(guān)專利。目前三星已經(jīng)推出10.1寸、解析度2560x1600(WAXGA)之Oxide TFT面板。



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