TCO制程掌握關(guān)鍵制程設(shè)備為首要

觸控面板中，最昂貴的材料非「透明導(dǎo)電膜」(TCO)莫屬。工研院機(jī)械所今年成功研發(fā)「低溫大氣壓電漿鍍膜技術(shù)」，是全球首創(chuàng)第一個(gè)完全符合綠色制造標(biāo)準(zhǔn)的制程，碳排放降低3分之一，成本也降低許多，不僅在去年得到華爾街日報(bào)的科技創(chuàng)新獎，也于今年得到全球百大科技(R&D 100)金獎。

有趣的是，發(fā)展這項(xiàng)技術(shù)的，是工研院機(jī)械所號稱的「18人閃電團(tuán)隊(duì)」，這一群研發(fā)人員，成天在實(shí)驗(yàn)室冒著觸電的危險(xiǎn)，不斷地測試、研發(fā)。工研院機(jī)械所先進(jìn)制造核心技術(shù)組電漿應(yīng)用技術(shù)部張加強(qiáng)經(jīng)理表示：「所謂的大氣壓電漿，就是藉由取得大自然中的閃電，運(yùn)用「鋅」來合成，因此只需要空氣與含金屬離子的水溶液，就可以在短時(shí)間內(nèi)完成透明導(dǎo)電膜鍍膜。」

這樣電漿鍍膜的制程上，能解決過去真空制程的耗電，以及解決有毒材料的環(huán)保問題。張加強(qiáng)說明，現(xiàn)今主流ITO透明導(dǎo)電膜，采用的「銦」材料，掌握在中國手上，不但價(jià)格高，且必須在真空鍍膜設(shè)備中制造。若是運(yùn)用一般性材料「鋅」替代「銦」，價(jià)格是銦的280分之一，因此從材料端就可以省下成本，設(shè)備端也能夠讓臺廠真正自主，解決產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵瓶頸。

傳統(tǒng)的鍍膜制程需要在真空下運(yùn)作，且制造采用有機(jī)金屬噴涂，且制造環(huán)境相當(dāng)昂貴，具有毒性。張加強(qiáng)解釋，「透過大氣壓電漿技術(shù)生產(chǎn)的『圖案化透明導(dǎo)電膜』采用低溫制程，無毒，且導(dǎo)電性比傳統(tǒng)ITO好，不但可以運(yùn)用在玻璃基板上，也可以應(yīng)用在軟性基板上?！鼓壳耙呀?jīng)到達(dá)量產(chǎn)規(guī)模，未來可以應(yīng)用在薄膜太陽電池產(chǎn)業(yè)以及面板產(chǎn)業(yè)合作。

張加強(qiáng)表示，目前光電產(chǎn)業(yè)中，主要關(guān)鍵材料TCO全部由日、美壟斷，包含日東電工(日本)、旭硝子(日)、PPG(美)。因此，開發(fā)出獨(dú)創(chuàng)且環(huán)保的TCO玻璃基板設(shè)備技術(shù)(以GZO取代ITO)，掌握關(guān)鍵制程設(shè)備，臺廠才能突破光電產(chǎn)業(yè)競爭的瓶頸。