MOCVD測量設備：化“產(chǎn)能”為“效率”

隨著國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)上游外延片、芯片產(chǎn)品的規(guī)模不斷擴大，人們也將目標投降了一個新的問題——外延片的良率。外延片的良率受到許多因素的影響，如果在外延制程中，在線進行檢測，就可以及時調(diào)整生長過程中的溫度等參數(shù)，降低外延片的彎曲度，提高產(chǎn)品的一致性，而非在產(chǎn)品生產(chǎn)后經(jīng)過測試才發(fā)現(xiàn)問題，造成材料的浪費。

據(jù)有關數(shù)據(jù)顯示，2013年全球50%的LED產(chǎn)能都集中在中國大陸和中國臺灣，然而，LayTec AG全球市場與銷售總監(jiān)Tom Thieme表示，產(chǎn)能并不能與效率直接對等。

據(jù)悉，一些國外大廠的批次生產(chǎn)時間約為5小時，尺寸主要為4吋和6吋產(chǎn)品;而國內(nèi)廠商的批次時間則為10小時，尺寸也集中在2吋和4吋為主。因此，LayTec AG也一直關注中國地區(qū)的LED外延片的良率，并希望幫助企業(yè)降低成本。

目前，大多數(shù)中國地區(qū)大多數(shù)外延片廠商中，都采用紅外測量的方式，但這種方式在某些波段將有可能出現(xiàn)測量誤差。

此外，對于高亮度LED來說，由于其結構復雜，每一層的均勻性和厚度都有可能影響最后的發(fā)光效率，因而企業(yè)亟待通過更穩(wěn)定、可靠的測量手段，在制程工藝內(nèi)部進行在線分析，從而改善技術、提高產(chǎn)品良率，并降低成本。

Tom Thieme表示，中國LED企業(yè)目前最重要的是將產(chǎn)能轉化為效率，發(fā)展可持續(xù)的LED產(chǎn)業(yè)供應鏈，才能保持中國作為LED制造大國領先地位。在過去Laytec的發(fā)展中，有60%的營業(yè)收入是來源于LED相關的設備，而在這當中，日本、韓國一直是重要的市場，隨著中國MOCVD數(shù)量的增長，以及市場對國產(chǎn)產(chǎn)品性能要求的提高，中國也將成為Laytec重要的市場。

據(jù)了解，早在2012年，LayTec AG就嗅到6吋MOCVD設備的市場份額將會急速擴大，并適時推出了安裝到反應爐中的現(xiàn)地量測儀器，可以確保晶圓的平整度，以提高良率。Tom Thieme表示，該產(chǎn)品可使LED波長的一致性可達到±3納米。預計，LayTec AG將在2015年實現(xiàn)將波長一致性控制在±1納米的目標，這也將有效幫助LED外延芯片企業(yè)加快提升良率，以縮減成本。