新技術(shù)：AMAT推出金屬氧化物面板

半導(dǎo)體設(shè)備大廠應(yīng)用材料(AppliedMaterials,AMAT)宣布推出一組以金屬氧化物晶體管生產(chǎn)的全新技術(shù)系統(tǒng)，可用于生產(chǎn)包括4K2K電視面板在內(nèi)所需的薄膜晶體管(TFT)。應(yīng)用材料指出，該款系統(tǒng)符合今日消費(fèi)者對(duì)屏幕性能、清晰度、色彩和明亮度的更高規(guī)格需求，可生產(chǎn)高分辨率顯示器所需的更小、反應(yīng)更快的薄膜晶體管。

應(yīng)用材料指出，新的PVD和PECVD系統(tǒng)的材料工程能力，為未來量產(chǎn)以金屬氧化物為基礎(chǔ)的顯示器，提供最佳化、具成本效益的解決方案。該生產(chǎn)技術(shù)平臺(tái)主要可導(dǎo)入大尺寸、超高分辨率(UHD)液晶顯示和有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器的生產(chǎn)，不僅大幅提升應(yīng)材在金屬氧化物(MO)薄膜和技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)地位。

金屬氧化物型薄膜晶體管為可制造低功率、高分辨率的智能型手機(jī)、平板計(jì)算機(jī)及有機(jī)發(fā)光二極管電視(OLEDTV)之先進(jìn)技術(shù)。未來4K2K超高分辨率電視機(jī)預(yù)計(jì)也將采用金屬氧化物薄膜晶體管技術(shù)。應(yīng)用材料的PVD和CVD系統(tǒng)均具備均勻度和微塵粒子控制技術(shù)，有助客戶提供高良率量產(chǎn)的全新顯示器。

應(yīng)用材料公司資深副總裁AliSalehpour指出，應(yīng)用材料的PVD和PECVD系統(tǒng)，能協(xié)助客戶轉(zhuǎn)換既有的金屬氧化物材料技術(shù)，加速顯示器產(chǎn)業(yè)的技術(shù)藍(lán)圖演進(jìn)，同時(shí)符合客戶對(duì)均勻度、微塵粒子控制和穩(wěn)定度挑戰(zhàn)的嚴(yán)格要求。

應(yīng)材指出，新的PVD系統(tǒng)可提升均勻度、同構(gòu)型和低缺陷的金屬氧化物反應(yīng)層沉積(例如氧化銦鎵鋅IGZO)，以及金屬導(dǎo)線和像素電極特性。應(yīng)材說明，當(dāng)薄膜晶體管愈來愈小，而基板愈來愈大時(shí)，均勻度和微塵粒子對(duì)良率就會(huì)產(chǎn)生更大的影響力；均勻的IGZOPiVot沉積膜可使薄膜晶體管達(dá)到高可靠度，是顯示器高質(zhì)量的重要因素，也是大小尺寸OLED使用金屬氧化物技術(shù)背板的關(guān)鍵所在。

另一方面，應(yīng)用材料的新PECVD系統(tǒng)則提供領(lǐng)先市場(chǎng)的二氧化硅(SiO2)制程，可降低制程的氫含量、并為金屬氧化物晶體管沉積絕緣層界面，藉此增進(jìn)晶體管的長(zhǎng)期穩(wěn)定性并提升屏幕最佳化的性能。