吉時(shí)利發(fā)布半導(dǎo)體特性測量系統(tǒng)

吉時(shí)利儀器(Keithley Instruments)宣布推出可發(fā)生與測量脈沖的Model 4200-SCS半導(dǎo)體特性測量系統(tǒng)——PIV (Pulse I-V)套件。這是該公司Model 4200-SCS新增的選購套件，可執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室級的直流元件特性測量及實(shí)時(shí)制圖，并以高精密度和sub-femto安培的分辨率進(jìn)行分析，適用如高K值材料、熱敏元件及高階內(nèi)存等。該公司表示，當(dāng)半導(dǎo)體科技發(fā)展到65nm節(jié)點(diǎn)及更高階，測量技術(shù)除了直流輸出-測量之外，必須更有效地測量新材料與新元件的特性，因?yàn)橹T如高K電荷捕獲及SOI (solicon on insulator)元件會自我發(fā)熱。雖然研發(fā)者已認(rèn)識到脈沖測試的重要性，但卻沒有商品化的解決方案可執(zhí)行簡易、精確及可重復(fù)性的脈沖測量。Model 4200-SCS PIV套件具有脈沖功能，整合了脈沖發(fā)生、脈沖測量，并結(jié)合申請專利中的軟件及簡化的待測元件導(dǎo)線連結(jié)，提供有效解決方案。用戶不需使用一堆設(shè)備來測量、連接復(fù)雜的線路，或使用自行發(fā)展的軟件及不準(zhǔn)確的測量結(jié)果。PIV套件是建構(gòu)在新的雙頻道脈沖發(fā)生卡，其特點(diǎn)是兩個(gè)獨(dú)立的頻道，具有1Hz至50MHz的頻率范圍?？僧a(chǎn)生一個(gè)只有10納秒(nanoseconds)的脈沖，可對SOI元件及其它65nm以下的元件及工藝實(shí)現(xiàn)等溫脈沖測量，其脈沖邊緣對于電荷捕獲、AC應(yīng)力測試、和儲存器件測試，可精確輸出與測量。用戶可以控制數(shù)個(gè)脈沖參數(shù)，如脈沖寬度、工作周期、上升與下降時(shí)間、振幅和偏移量。該套件組合中的軟件也可以控制脈沖的設(shè)定，并驅(qū)動雙信道脈沖產(chǎn)生器，觸發(fā)及執(zhí)行脈沖測量，搜集和顯示數(shù)據(jù)。PIV套件中還包括執(zhí)行pulse IV和電荷捕獲的測試程序示例，可節(jié)省軟件研發(fā)時(shí)間及成本。此外，雙頻道脈沖發(fā)生卡也可當(dāng)作一個(gè)集成在Model 4200-SCS上的脈沖發(fā)生器。一般用途脈沖發(fā)生器適合應(yīng)用于失誤分析、電荷泵、閃存測試及時(shí)鐘發(fā)生。脈沖發(fā)生卡包含的軟件具備易用的圖形操作界面。