TDLAS技術(shù)在氣體激光傳感系統(tǒng)方面的發(fā)展前景

TDLAS是Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy（可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜 ）的簡稱。該技術(shù)主要是利用可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的窄線寬和波長隨注入電流改變的特性實(shí)現(xiàn)對分子的單個或幾個距離很近很難分辨的吸收線進(jìn)行測量。

TDLAS通常是用單一窄帶的激光頻率掃描一條獨(dú)立的氣體吸收線。為了實(shí)現(xiàn)最高的選擇性，分析一般在低壓下進(jìn)行，這時吸收線不會因?yàn)閴毫Χ訉?。這種測量方法是Hinkley和Reid提出的，現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)展成為了非常靈敏和常用的大氣中痕量氣體的監(jiān)測技術(shù)。

該技術(shù)具有測量精度高，可達(dá)ppm（百萬分之一）量級；準(zhǔn)確度高，可檢測混合氣體中的特定成分氣體；響應(yīng)速度快，可達(dá)毫秒響應(yīng)量級；使用光學(xué)方式檢測，可抗干擾和防爆特性，可用于易燃易爆氣體監(jiān)測。掌握了自主知識產(chǎn)權(quán)，就可定制化生產(chǎn)，滿足不同行業(yè)氣體監(jiān)測需要。

本項(xiàng)目由中國航天空氣動力技術(shù)研究院北京航天易聯(lián)科技發(fā)展有限公司、中國科學(xué)院電工研究所、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合研制。半導(dǎo)體擁有半導(dǎo)體激光器研制和光電子封裝技術(shù)優(yōu)勢、電工所擁有結(jié)構(gòu)設(shè)計、電子電路優(yōu)勢，易聯(lián)公司擁有航天軍工工藝、產(chǎn)品化、市場推廣的優(yōu)勢，三家優(yōu)勢互補(bǔ)，推動氣體傳感器的研制和產(chǎn)品化。

國內(nèi)主要是90年代末期開始，發(fā)展較快，特別是近十年來，以中科院安徽光學(xué)精密研究所、中科院半導(dǎo)體所為代表的國內(nèi)科研機(jī)構(gòu)，在環(huán)境監(jiān)測，生態(tài)測量等方面，出了很多研究成果。