我國(guó)研制超精拋光裝備，突破高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)

制造加工業(yè)的發(fā)展，已經(jīng)朝著超精密方面邁進(jìn)，但是我國(guó)在該領(lǐng)域還顯得有些薄弱。尤其是在光學(xué)儀器零件加工領(lǐng)域，我國(guó)與國(guó)外差距較大，限制了我國(guó)先進(jìn)制造技術(shù)的發(fā)展。近日，國(guó)防科大自主研制的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備通過了國(guó)家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收，并將為其他國(guó)家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新提供支撐。

該設(shè)備將光學(xué)零件加工的“中國(guó)精度”提升到了新的高度，實(shí)現(xiàn)了小于1納米的誤差，也就是亞納米精度加工技術(shù)?；诳煽厝狍w制造的第三代光學(xué)加工方法，對(duì)磁流變和離子束拋光機(jī)床進(jìn)行自主研制，并實(shí)現(xiàn)亞納米精度，是我國(guó)光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)的一大飛躍與突破，突破了國(guó)外在該技術(shù)領(lǐng)域?qū)χ袊?guó)的封鎖，使我國(guó)成為第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國(guó)家。

該設(shè)備的研制成功，還將為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對(duì)地觀測(cè)系統(tǒng)”等3個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)，提供技術(shù)支撐，推動(dòng)這些重大科技專項(xiàng)的研發(fā)進(jìn)程與技術(shù)突破進(jìn)程。