掃描光柵微鏡

基于FR4的電磁式掃描光柵微鏡結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)

掃描光柵微鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)通常設(shè)計(jì)成扭振系統(tǒng) ,通過(guò)扭轉(zhuǎn)梁實(shí)現(xiàn)微鏡轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的結(jié)構(gòu)抗扭 。將扭轉(zhuǎn)梁設(shè)計(jì)成折疊形式 ,可以減小扭轉(zhuǎn)梁的抗扭剛度 ,但扭轉(zhuǎn)振型仍有可能未成為系統(tǒng)的一階主振型。因此 ,通過(guò)提高系統(tǒng)鏡板的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和設(shè)置剛度調(diào)節(jié)棒 , 改進(jìn)系統(tǒng)的振型模態(tài)分布 。最后 ,對(duì)優(yōu)化后結(jié)構(gòu)進(jìn)行了理論計(jì)算和基于ANSYS的有限元軟件仿真 , 結(jié)果均表明優(yōu)化后結(jié)構(gòu)能有效改善微鏡的扭轉(zhuǎn)諧振特征。