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Rorze首次展出支持4個(gè)端口的450mm晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
Rorze支持4個(gè)端口的450mm晶圓搬運(yùn)機(jī)器人在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張Messe會(huì)展中心）上首次展出。該機(jī)器人可使支持4個(gè)端口的制造裝置開發(fā)變得容易，有助于削減成本及提高可靠性。 此前的
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【SEMICON】450mm晶圓相關(guān)部材展示超過預(yù)期
在與微細(xì)化同為半導(dǎo)體制造重要課題的大口徑化方面，在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕張Messe會(huì)展中心）上450mm晶圓的搬運(yùn)機(jī)器人及晶圓盒等相關(guān)展品的數(shù)量超過了預(yù)期。一直關(guān)注該領(lǐng)域的多名記者均表示
