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基于光學(xué)發(fā)射光譜法監(jiān)測(cè)等離子體的光譜峰
海洋光譜儀基于光學(xué)發(fā)射光譜，助力半導(dǎo)體制程良率提升。
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Ocean Optics品牌再現(xiàn)江湖，海洋光學(xué)Ocean Insight正式宣布品牌重組
Ocean Insight將作為主品牌，并通過(guò)三個(gè)行業(yè)領(lǐng)先的子品牌Ocean Optics、Ocean Applied、International Light為客戶提供光學(xué)傳感解決方案，這一強(qiáng)勁的品牌組合將促使其具備更大的市場(chǎng)影響力。
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助力晶圓生產(chǎn)工藝改進(jìn)，海洋光學(xué)參加2022中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)
“凝聚芯合力，發(fā)展芯設(shè)備”是這次大會(huì)的主題，產(chǎn)業(yè)升級(jí)是國(guó)家的大方向，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在加速前進(jìn)，海洋光學(xué)利用自己在光譜技術(shù)領(lǐng)域的多年積累，解決創(chuàng)新過(guò)程中遇到的問(wèn)題，與產(chǎn)業(yè)伙伴合力推進(jìn)創(chuàng)新發(fā)展。
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改進(jìn)晶圓制造工藝，探索蝕刻終點(diǎn)的全光譜等離子監(jiān)測(cè)解決方案
海洋光學(xué)與半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的設(shè)備供應(yīng)商合作，共同推進(jìn)終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)。
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助力提升芯片質(zhì)量和產(chǎn)量，半導(dǎo)體工藝監(jiān)測(cè)中的光譜應(yīng)用
根據(jù)檢測(cè)工藝所處的環(huán)節(jié)，IC集成電路檢測(cè)被分為設(shè)計(jì)驗(yàn)證、前道量檢測(cè)和后道檢測(cè)。前道量測(cè)、檢測(cè)均會(huì)用到光學(xué)技術(shù)和電子束技術(shù)，其中光學(xué)量測(cè)通過(guò)分析光的反射、衍射光譜間接進(jìn)行測(cè)量，其優(yōu)點(diǎn)是速度快、分辨率高、非破壞性。后道檢測(cè)工藝是芯片生產(chǎn)線的“質(zhì)檢員”，根據(jù)工藝在封裝環(huán)節(jié)的前后順序，后道檢測(cè)可以分為CP測(cè)試和FT測(cè)試。
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