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東方晶源電子束檢測項目榮登2022“科創(chuàng)中國”先導技術榜單
日前,2023“科創(chuàng)中國”年度會議上,中國科協正式發(fā)布了2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單。經初評、終評,遴選公示多個環(huán)節(jié),東方晶源申報的“電子束硅片圖形缺陷檢測與關鍵尺寸量測設備關鍵技術及應用”項目榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜。
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2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單公布 東方晶源上榜
日前,2023“科創(chuàng)中國”年度會議上,中國科協正式發(fā)布了2022年“科創(chuàng)中國”系列榜單。經初評、終評,遴選公示多個環(huán)節(jié),東方晶源申報的“電子束硅片圖形缺陷檢測與關鍵尺寸量測設備關鍵技術及應用”項目榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜。
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KLA推出全新突破性的電子束缺陷檢測系統(tǒng)
加利福尼亞州，米爾皮塔斯市，2020年7月20日/-今天KLA公司宣布推出革命性的eSL10?電子束圖案化晶圓缺陷檢查系統(tǒng)。
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5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600%
提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產品—;—;第一代HMI多光束檢測機H
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ARM電子束焊機燈絲電源設計方案
傳統(tǒng)的電子束焊機電源系統(tǒng)采用工頻或中頻技術，具有體積大、效率低、束流穩(wěn)定性差等缺點。分析電子束焊機電源目前存在的缺點并結合現代電力電子技術，本文提出一種基于ARM的
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