科天

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  • 科天（KLA-Tencor）：制程管控這門生意

    如今工藝節(jié)點不斷微縮，從90nm、65nm、45nm、28nm、14nm、10nm、7nm，再到5nm、3nm、1nm，晶體管數(shù)量越來越多，單顆芯片中晶體管數(shù)量超過數(shù)十億個。不僅如此，工藝步驟也在增多，制造工藝可能包括1000個以上的工藝步驟，外加上超過1英里長的電路布線，這些所有的品質(zhì)都集中體現(xiàn)在一顆小小的晶圓上，而其中任意一個步驟出現(xiàn)問題，整個芯片就會報廢。