MEMS

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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術，廣泛應用于高新技術產(chǎn)業(yè)，是一項關系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關鍵技術。MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。常

  • MEMS麥克風的基本原理，第二部分

    壓力的 SI 單位是帕斯卡 (Pa)，它是每單位面積力的線性度量 (1 Pa = 1 N/m 2 )。然而，在討論聲壓級時，由于人耳的動態(tài)范圍很大，可以檢測到低至 20 微帕到超過 20 帕斯卡的聲音，因此對數(shù)刻度更方便。因此，麥克風性能的關鍵指標通常以分貝 (dB) 表示。 0dB SPL 等于 20 μPa，1 Pa 等于 94dB SPL。以下參數(shù)通常是麥克風性能最重要的指標：

  • MEMS麥克風的基本原理，第一部分

    MEMS(微機電系統(tǒng))技術在麥克風上的應用帶動了高性能小型麥克風的發(fā)展。 MEMS 麥克風具有高信噪比、低功耗、良好的靈敏度，并且采用非常小的封裝，與表面貼裝工藝完全兼容。 MEMS麥克風在回流焊接后性能幾乎沒有變化，并且具有優(yōu)異的溫度特性。

  • 利用MEMS高帶寬音頻加速度計獲得更好的聲學性能

    MEM麥克風是一種小型的、具有高靈敏度的高信噪比,具有較高的聲過載點。盡管這些麥克風很好,但通過專用的加速度計能夠通過固體材料捕捉不到2KKZ的低頻振動,可以進一步提高音頻質量。

  • 你了解MEMS微慣性導航發(fā)展歷史嗎?MEMS微慣性導航有哪些分類?

    為增進大家對MEMS微慣性導航的認識，本文將對MEMS微慣性導航的發(fā)展歷史、MEMS微慣性導航的分類予以介紹。

  • MEMS慣性導航的原理是什么?MEMS慣性導航未來發(fā)展如何?

    為增進大家對MEMS慣性導航的認識，本文將對MEMS慣性導航的原理、MEMS慣性導航未來發(fā)展期望予以介紹。

  • MEMS慣性導航有哪些應用?這些MEMS慣性導航應用你都知道嗎?

    為增進大家對MEMS慣性導航的認識，本文將對MEMS慣性導航在實際生活中的應用予以介紹。

  • mems壓力傳感器原理

    以下內(nèi)容中，小編將對MEMS壓力傳感器的相關內(nèi)容進行著重介紹和闡述，希望本文能幫您增進對MEMS壓力傳感器的了解，和小編一起來看看吧。

  • 傳感器和AI相結合，ST智能傳感器助力未來可持續(xù)的虛實交融生活

    時間來到2023年，ST在中國召開了其首屆傳感器大會，支持本地端的AI計算的智能傳感器成為了本次大會的焦點。在開幕演講上，意法半導體副總裁·中國區(qū)總經(jīng)理曹志平表示，我們的生活經(jīng)歷了從off-line到on-line的變革，以及從on-line到on-life發(fā)展，目前邁入Sustainable Onlife階段，具備AI能力的傳感器將會是構建永久在線的、虛擬交融的可持續(xù)生活的關鍵。

  • 傳感器全面擁抱AI，讓推理部署到更邊緣側

    近日，第11屆EEVIA年度中國硬科技媒體論壇暨產(chǎn)業(yè)鏈研創(chuàng)趨勢展望研討會在深圳召開，Bosch Sensortec GmbH 高級現(xiàn)場應用工程師皇甫杰在會上發(fā)布了主題為“嵌入式AI與MEMS傳感器塑造未來， 開啟全新視野”的演講。

  • MEMS壓力傳感器是什么？它的工作的原理是什么？

    MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫，即微電子機械系統(tǒng)。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術是建立在微米/納米技術(micro/nanotechnology)基礎上的21世紀前沿技術，是指對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。它可將機械構件、光學系統(tǒng)、驅動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動。

  • 三軸陀螺儀是什么？有什么用？

    陀螺儀英文名Gyroscope，是一種用來傳感和維持方向的裝置設備。陀螺儀是由一個位于軸心且可旋轉的輪子構成。 陀螺儀一旦開始旋轉，由于輪子的角動量，陀螺儀有抗拒方向改變的趨向。陀螺儀可分為單軸陀螺儀和三軸陀螺儀，單軸陀螺儀只能測量一個方，系統(tǒng)測試三維空間就需要三個。而三軸陀螺儀就可以同時測量6個方向。三軸陀螺儀多用于航海、航天等導航、定位系統(tǒng)，它能夠精確地確定運動物體的方位。如今也多用于智能手機當中。

  • MEMS的常見應用有哪些？

    MEMS傳感器是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。除了智能手機，MEMS傳感器將會在 AR/VR、可穿戴等消費電子，智能駕駛、智能工廠、智慧物流、 智能家居、環(huán)境監(jiān)測、智慧醫(yī)療等物聯(lián)網(wǎng)領域廣泛應用。

  • MEMS傳感器在醫(yī)療領域主要體現(xiàn)出有哪些應用？

    醫(yī)學的產(chǎn)生是伴隨著“傳感器”的運用應運而生，中醫(yī)起源的“望、聞、問、切”療法，就是人類自身傳感觸覺、聽覺、視覺的運用，而西方醫(yī)學中各類科學儀器，很多也是利用各種傳感器延伸了醫(yī)生的感官。從傳統(tǒng)的聽筒、小錘到CT、B超，再到臨床手術治療，以及近兩年因為新冠疫情而時下火熱的制氧機、呼吸機等，傳感器都作為關鍵的元器件參與其中并發(fā)揮著重要作用，可以說醫(yī)療器械的發(fā)展歷程也是一部傳感器技術的進步史。

  • MEMS傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀如何？未來的新趨勢是什么？

    萬物互聯(lián)，物聯(lián)網(wǎng)是關鍵。作為物聯(lián)網(wǎng)感知層的基礎和核心，傳感器尤其是MEMS傳感器，有望迎來在各領域的海量應用和高速發(fā)展?，F(xiàn)階段，物聯(lián)網(wǎng)等新興技術的發(fā)展，帶動了MEMS傳感器應用場景的多元化?；谖锫?lián)網(wǎng)，傳感器正加速向千行百業(yè)滲透、融合，消費電子、智能家居、汽車等新市場的到來都將為MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)帶來廣闊的市場空間。與傳統(tǒng)的機械傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點，可以滿足物聯(lián)網(wǎng)時代對于傳感器的要求。

  • 國內(nèi)外生產(chǎn)MEMS傳感器的廠商有哪些？

    MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems)，是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。

  • 應用于智能手環(huán)設計和無人機控制的MEMS傳感器有哪些？

    隨著物聯(lián)網(wǎng)技術的日益成熟，目前無人機的發(fā)展對物聯(lián)網(wǎng)技術的應用越來越多，其中傳感器技術發(fā)揮著非常重要的作用。加速度設計加速度計用于確定無人機的位置和姿態(tài)。就像Nintendo Wii控制器或iPhone屏幕位置一樣，這些小型MEAS傳感器在維持飛行控制方面發(fā)揮著關鍵作用，MEAS加速度計有多種方式來感知運動手勢，其中一種技術能夠感知微型集成電路的微小運動。

  • MEMS加速度計的應用原理是什么？具體介紹

    MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術，使得其尺寸大大縮小，一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。

  • MEMS是什么？具體有什么用？

    MEMS的全稱是Micro- Electro Mechanical System，簡稱為微機電系統(tǒng)，是在芯片上將微機械與微電路包括集微型傳感器、執(zhí)行器、機械結構、電源能源、信號處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等集成一體的微米/納米級系統(tǒng)。通俗的說，MEMS工藝是通過微型傳統(tǒng)機械系統(tǒng)的部件，采用半導體加工技術把微型機械系統(tǒng)與集成電路固定在硅晶圓上，接著按照應用場景的變化采用特殊定制的封裝形式，最后經(jīng)過切割組裝形成硅基換能器。

  • MEMS傳感器可以分成哪些應用類型？

    MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術附加值高，適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化等特點。MEMS傳感器技術是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、

  • MEMS加速度計在方面都有哪些應用？起到什么作用？

    加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術，使得其尺寸大大縮小，一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。

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