半導(dǎo)體|三星電子在生產(chǎn)線上試用韓國(guó)企業(yè)加工的氟化氫
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9月5日消息,據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道,三星電子開(kāi)始在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上試用韓國(guó)企業(yè)加工的氟化氫。
三星
知情人士稱,自8月下旬起,三星電子開(kāi)始在一條生產(chǎn)線上使用韓國(guó)企業(yè)供應(yīng)的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。
此次投入量產(chǎn)線的是從中國(guó)進(jìn)口、由韓國(guó)企業(yè)加工的氟化氫。
在高純度的氟化氫市場(chǎng),日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。三星電子對(duì)于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹(jǐn)慎態(tài)度。
今年7月,就有外媒報(bào)道三星電子在半導(dǎo)體工廠試驗(yàn)新材料的生產(chǎn)線上,開(kāi)始投入日本以外廠商的氟化氫進(jìn)行試驗(yàn),這些產(chǎn)品被認(rèn)為來(lái)自中國(guó)大陸、中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)廠商。
上月,外媒還報(bào)道,三星電子正在從總部位于比利時(shí)的公司采購(gòu)用于制造半導(dǎo)體芯片的化學(xué)材料,以替代日本廠商。外媒未披露公司名稱,但有分析認(rèn)為,該公司應(yīng)該是日本化學(xué)企業(yè)JSR和比利時(shí)研究機(jī)構(gòu)IMEC2016年設(shè)立的合資公司EUV Resist。