10月1日,韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部層表示,氟化氫申請進口將近90天,日本政府卻未批準許可。不過今天SK海力士相關(guān)負責人表示,日本已于9月30日批準了其有關(guān)氣態(tài)氟化氫的進口申請。
日本政府7月加強對韓出口限制,受限的半導(dǎo)體及顯示器原料品項包含氟化氫、光刻膠以及氟化聚醯亞胺。半導(dǎo)體制程中,氟化氫是洗去蝕刻、雜質(zhì)的清潔原料,日本產(chǎn)品占全球市場7成以上。
自日本出臺出口限制政策后,SK海力士開始在部分產(chǎn)線中投入韓國制氟化氫。但業(yè)界普遍認為,韓國的高純度氟化氫很難完全替代日制產(chǎn)品。半導(dǎo)體業(yè)界相關(guān)人士解釋,韓國為了減低對日依賴度,將韓國產(chǎn)品投入了部分生產(chǎn)線,但也不是完全取代日制產(chǎn)品,比較像是分散供應(yīng)鏈。