三星發(fā)力EUV工藝 向ASML訂購15臺EUV光刻機 價值181億

臺積電今天宣布將全年的資本開支從110億美元提升到140-150億美元，增長了40%左右，希望進一步提升7nm及5nm產(chǎn)能。

在這個領(lǐng)域，唯一能跟臺積電競爭的就是三星了，但是三星的問題在于進展較慢，現(xiàn)在三星發(fā)狠了，傳聞稱訂購了15臺EUV光刻機，價值3萬億韓元，約合181億人民幣。

EUV光刻機是7nm及以后節(jié)點的重要裝備，目前只有荷蘭ASML公司能夠供應，昨天該公司發(fā)布了Q3季度財報，交付了7臺EUV光刻機，但當季收獲的EUV光刻機訂單高達23臺，創(chuàng)造了歷史記錄，顯然三星的訂單功不可沒。

三星的15臺EUV光刻機訂單量非常大，要知道ASML一年出貨的EUV光刻機也不過30臺左右，每季度7-8臺的樣子，所以三星也的訂單能占到ASML年度出貨量的一半—;—;好在這批訂單是分三年交付的，每年大概10臺左右。

15臺光刻機總價值約為181億人民幣，換算下來每臺折合約12億元，這個價格要比目前的EUV光刻機NEX:3400B/3400C平均單價高出1/3左右，不確定三星是否附加了別的服務，還有一種可能就是三星訂購的EUV光刻機包含了未來發(fā)展的型號，所以單價會更高。

2018年6月份三星就宣布了量產(chǎn)7nm EUV工藝，但實際上沒有大規(guī)模量產(chǎn)，在韓國華城的EUV生產(chǎn)線還在建設中，預計2020年才會真正的大規(guī)模量產(chǎn)，主要客戶除了自家Exynos芯片之外，還有NVIDIA及IBM。