1月2日消息 2019年12月30日,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司宣布在12英寸生產(chǎn)車間內(nèi),順利完成了第一枚12英寸半導(dǎo)體硅拋光片的下線。
2018年2月,中欣晶圓大硅片項目開工建設(shè),歷時22個月的建設(shè),此前迎來了8英寸大硅片的量產(chǎn)和項目的竣工儀式,今天首枚12英寸半導(dǎo)體硅拋光片的順利下線。
杭州中欣晶圓半導(dǎo)體大規(guī)模大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地可實現(xiàn)8英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)420萬枚、12英寸半導(dǎo)體硅片年產(chǎn)240萬枚,將改變國內(nèi)半導(dǎo)體大硅片完全依賴國外的現(xiàn)狀。
據(jù)介紹,來自臺灣、日本、德國、韓國等地五大公司掌握全球80%以上的大硅片生產(chǎn),國內(nèi)現(xiàn)在只能滿足4-6英寸的大硅片,8英寸以及高端的12英寸大硅片主要依賴進口。
大硅片技術(shù)難度主要在于純度和良率,其中純度要達到99.999999999%,純度要求非常高,幾乎不能摻雜一點雜質(zhì),否則就會影響芯片的性能。
2017年9月28日,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司錢塘新區(qū)項目正式落戶,注冊資本29億元,占地13.34多萬平方米,廠房面積約15萬平方米。項目總投資達10億美元,屬于浙江省重大產(chǎn)業(yè)項目。整個項目達產(chǎn)后將成為國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最成熟的大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地。該項目建設(shè)有3條8英寸(200mm)、2條12英寸(300mm)半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。
2019年6月30日,中欣晶圓的首批8英寸(200mm)半導(dǎo)體硅拋光片順利下線。