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[導(dǎo)讀]在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝上,國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際SMIC的14nm工藝已經(jīng)量產(chǎn),改進(jìn)版的 12nm工藝也在導(dǎo)入中,取得了優(yōu)秀的成績。考慮到國內(nèi)半導(dǎo)體工藝上的落后,光指望中芯國際一家也是不行的,上海華虹

在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝上,國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際SMIC的14nm工藝已經(jīng)量產(chǎn),改進(jìn)版的 12nm工藝也在導(dǎo)入中,取得了優(yōu)秀的成績??紤]到國內(nèi)半導(dǎo)體工藝上的落后,光指望中芯國際一家也是不行的,上海華虹集團(tuán)日前透露其14nm FinFET工藝也全線貫通,SRAM良率已達(dá)25%。

1月12日下午,,華虹集團(tuán)在無錫新落成的華虹七廠研發(fā)大樓召開“開放、創(chuàng)新、合作—;華虹集團(tuán)2020年全球供應(yīng)商迎新座談會(huì)”,邀請(qǐng)了國內(nèi)30多家、國外50多家供應(yīng)商合作伙伴出席,華虹集團(tuán)高管分享了該公司的最新進(jìn)展。

華虹方面表示,2019年是華虹集團(tuán)產(chǎn)能擴(kuò)張、工藝提升的關(guān)鍵年,該公司多個(gè)項(xiàng)目都取得了重要進(jìn)展:

·作為華虹集團(tuán)在上海市域以外的第一個(gè)制造項(xiàng)目,華虹七廠于9月17日實(shí)現(xiàn)順利投產(chǎn),首期1萬片產(chǎn)能的機(jī)臺(tái)順利串線并完成一系列工藝驗(yàn)證,進(jìn)入正常生產(chǎn)階段,創(chuàng)造了業(yè)界同類產(chǎn)線建成投產(chǎn)的最快記錄,成為中國大陸第一條12英寸特色工藝產(chǎn)線,也是中國大陸第一條12英寸功率器件代工產(chǎn)線;

·華虹六廠自2018年10月18日投產(chǎn)以來,產(chǎn)能爬坡順利,目前已經(jīng)完成月產(chǎn)2萬片的裝機(jī)產(chǎn)能;

·華虹五廠實(shí)現(xiàn)連續(xù)兩年盈利,年度出貨量、單日作業(yè)量屢創(chuàng)新高;

·華虹宏力8英寸特色工藝制造平臺(tái)(華虹一、二、三廠)在產(chǎn)能規(guī)模、營運(yùn)效率方面持續(xù)保持領(lǐng)先,并連續(xù)9年實(shí)現(xiàn)盈利。

華虹集團(tuán)成為業(yè)界唯一一家連續(xù)兩年建設(shè)并投產(chǎn)運(yùn)營兩條12英寸生產(chǎn)線的企業(yè)

除了產(chǎn)能建設(shè)之外,華虹集團(tuán)在技術(shù)研發(fā)上也獲得了多項(xiàng)重要突破,新研發(fā)的65/55納米節(jié)點(diǎn)得射頻和BCD特色工藝平臺(tái),處于國際先進(jìn)水平;28納米工藝(28LP/28HK/28HKC+)均實(shí)現(xiàn)量產(chǎn);22納米研發(fā)快速推進(jìn);14納米研發(fā)或重大進(jìn)展;更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的先導(dǎo)工藝研發(fā)快速部署。

尤其是最新一代的工藝,華虹集團(tuán)總工程師趙宇航指出其14nm FinFET工藝已經(jīng)全線貫通,SRAM良率25%,2020年將快速推進(jìn)

這也是華虹集團(tuán)首次對(duì)外公布14nm工藝的具體良率情況,SRAM芯片的25%良率對(duì)生產(chǎn)來說肯定不行,但是對(duì)研發(fā)、實(shí)驗(yàn)來說已經(jīng)是一大進(jìn)步。

在總體進(jìn)度上,華虹的14nm工藝肯定是不如中芯國際的14nm快的,后者的14nm工藝去年良率就達(dá)到了95%,并已經(jīng)開始進(jìn)入量產(chǎn)階段,比國家預(yù)定目標(biāo)提前一年,現(xiàn)在正在產(chǎn)能提升及新工藝導(dǎo)入階段。

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