2005年3月7日，吉時利公司在北京召開新聞發(fā)布會，推出兩款新的半導體測量設備。
第一款是2600系列數字系統(tǒng)源表（System SourceMeter®）儀器，這是一個新的平臺，能為包括硅和化合物半導體制造商在內的大量廣闊范圍內的電子元器件制作制造商顯著有效地降低測試成本的新的平臺。 2600系列數字系統(tǒng)源表儀器建立在吉時利公司第三代源測量技術（已申請專利）基礎之上，綜合了具有本行業(yè)最高吞吐通過量的源測量單元設備（SMU）和可升級的儀器構成因子，允許無縫集成1至16通道該的數字系統(tǒng)源表儀器到一個從1號至16號SMU通道無縫集成到系統(tǒng)中。 2600系列系統(tǒng)數字源表儀器目前包含由2601型單通道和2602型雙通道型組成，是構建ATE系統(tǒng)的比較理想的選擇，模塊化結構并可升級儀器，可用于構建ATE系統(tǒng)用于，各種執(zhí)行精密的DC、脈沖以及低頻AC信號的源－測量測試應用。
2600系列數字系統(tǒng)源表儀器通過吉時利公司的嵌入式測試腳本處理器（TSP™）為各制造商提供了行業(yè)界領先的通過測試速率。測試腳本處理器即 TSP可讓用戶編寫測試命令序列程序，并獨立于執(zhí)行于PC執(zhí)行操作系統(tǒng)的執(zhí)行高速的自動化測試序列。 不同于競爭對手同類的其它產品，其缺乏根本不具備這種測試排序列能力或僅能將指令排成隊序列列來并執(zhí)行這些指令，而TSP具有直觀智能化工作（intuitive intelligence）的特點，可使2600序列系列儀器在TSP處理器的控制下而不是單獨PC控制下工作，相當于完整測量自動化解決方案的一個獨立子系統(tǒng)來進行作為元器件測試的一個完整的測量自動化解決方案，而競爭對手的產品則缺乏這種測試排序能力或僅能將指令排成隊列并執(zhí)行這些指令。 2600系列系統(tǒng)源表該儀器可以控制1至16個SMU通道上的純供電源純化、測量、通過成功/失效敗（pass/fail）判決斷、測試試驗順序列流程控制、元器件重新分級篩選以及數據存儲等。通過一些實際 在應用中，所做的測試比對，發(fā)現(xiàn)顯示該2600系列儀器與同類競爭對手的產品的相比，其測量速度、系統(tǒng)吞吐信息通過量都快很多是競爭對手產品（的2～4倍），這些應用測試包括三端元器件器件測試、并行元器件測試、光電器件L-I-V掃描以及二端元器件器件測試。
靈活的觸發(fā)和測試序列流程控制能力使得TSP可通過數字I/O和RS-232端口控制其它儀器、元器件篩選、機械元件手處理器或探針臺測器。 TSP具有無與倫比的儀器自動化控制能力，可獲得高達10倍傳統(tǒng)產品的測試信息通過量。
2600系列數字系統(tǒng)源表儀器配備有Test Script Builder開發(fā)軟件，其簡單的圖形用戶界面（graphical user interface，GUI）簡潔易用，可使用戶能夠輕松自由地開發(fā)、修改以及和調試高速TSP程序。 每臺裝置也都具有內置預寫入TSP程序套件的特征，用戶可為專門特定應用而快速修改這些程序，可減少75％的軟件開發(fā)時間。 此外，適用于2400/2600系列數字系統(tǒng)源表儀器的LabTracer™ 2.0軟件能使用戶在實驗室或半導體器件特性測試化應用中順利地進行儀器控制、數據采集以及圖形顯示、曲線跟蹤等。
2600系列系統(tǒng)源表儀器的報價如下：單通道2601型的起價為5495美元。 雙通道2602型的報價為7995美元。
第二款產品引進了用于半導體生產過程中參數生產過程控制測試的第三代圓片晶圓射頻 (RF) 測量功能力。 吉時利公司第三代射頻 (RF) 參數測量系統(tǒng)RF選件解決方案（是一個選配件），能提供連續(xù)、自動、實時的測試量質量監(jiān)控，在在提供最高優(yōu)等超等質量結果的同時，也獲得了最高測量信息吞吐產能通過率量、最低運行成本。此外，吉時利公司的射頻 (RF) 參數測量系統(tǒng)選項RF選件測量功能力（系統(tǒng)）是目前唯一一個在全球范圍內獲得驗證的半導體參數測試系統(tǒng)，適合于世界范圍內200mm和300mm晶圓的制造工廠的半導體參數射頻 (RF)測試系統(tǒng)生產實驗室進行應用參數工藝控制的測試系統(tǒng)，這些應適用于用包括高性能邏輯電路生產和高性能模擬集成電路生產。
自動連續(xù)的測量完整性監(jiān)控原理是：測試機臺儀自動檢測事件，判斷該事件是否會否使導致射頻 (RF) RF定標校準無效，并自動觸發(fā)校正動作作用，如無人值守的自動再標定校準功能。一些 系統(tǒng)配置方面的改變，如改變探針卡板，都可被設置用來觸發(fā)一個無人值守的自動再校準功能標定。 這些事件也還包括基于時間的觸發(fā)事件，如到期的射頻 (RF) RF定標校準，。 最終的觸發(fā)事件類級別是可基于測量得出的基礎。 例如，當探測器正在檢索至下一個現(xiàn)場時，在后臺，測試儀將自動核實檢驗探針觸頭的質量，如需要，并還可觸發(fā)自動探針清洗，如果需要的話。
較高的測量完整性使用戶無需請射頻 (RF) 的RF專家人工檢查原始數據曲線的異常情況的異常情況，這些，因為異常情況將將認為該測量為不可靠會對可疑的的射頻 (RF) RF測量結果進行提示。 較高的測量完整性也剔除避免了再探測和再加工的高成本，使得它在操作上與符合高效務實的300mm實驗室的要求兼容。
吉時利公司的射頻 (RF) RF選件具有和S680型SimulTest選件、以及專門設計恰當的測試結構和探針板卡，是市場上所銷售的唯一的一個射頻 (RF) RF測試系統(tǒng)，可在同一次探針touchdown中并行進行同步直流 (DC) 和射頻 (RF) 測量?？稍谙嗤奶结樣|地范圍內并行進行同步直流 (DC) 和射頻 (RF) RF測量。 這實質上獲得了比類似方法（執(zhí)行順序的直流 (DC) 測量，然后再進行RF測量）更高得多的通過測試吞吐量，這些類似方法執(zhí)行順序的DC測量，然后再進行RF測量。 此外，可以利用行業(yè)最大的射頻 (RF) RF參數提取程序庫從已測量的s-參數中，第一次實時提取和反嵌入射頻 (RF) RF參數，并且現(xiàn)在首次實現(xiàn)了反嵌入，整個過程無需后處理，節(jié)省了時間，提高了信息通過量吞吐量。
此外，綜合結合S680型參數測試系統(tǒng)來看之后，只有吉時利公司具備了40GHz頻率測量過程中的DC-RF 同駐功能直接駐泊（direct-dock）能力。 競爭其它對手的產品往往要求射頻 (RF) RF專家采用扭矩扳手手動改變更換探針板探針卡，然后再進行是手動再標定再校準。 而吉時利公司的射頻 (RF) RF選件解決方案將自動改變更換射頻 (RF) RF探針板探針卡，所用時間僅為手動調整時的很一小部分，提高了總信息通過量吞吐量。 在射頻 (RF) RF測量結果結果中，自動化換卡功能同時也增加了測試的完整性，因為它消除了導致系統(tǒng)-與-系統(tǒng)之間數據不匹配的最主要的因素，即人為因素自動探針板的自動改變更換也通過消除了在系統(tǒng)-至-系統(tǒng)的變化中由人為干預而導致的重大可變性，提供增加了測量完整性，。 同時，因為不再需要射頻 (RF) RF專家在現(xiàn)場進行維護和技術支持，所以降低了運行成本。 自動探針板探針卡改變更換功能力是吉時利公司射頻 (RF) RF選件解決方案的一大新的特性。
吉時利第三代射頻 (RF) 選件測量功能力可以直接用于工廠發(fā)貨的S680和S470兩種新型號的系統(tǒng)。也可以對過去15年內已經安裝的現(xiàn)有S600和S400系列型號進行現(xiàn)場改造，將其作為吉時利承諾承諾不斷為客戶提供產業(yè)頂行業(yè)領先的重要資本設備的重新利用的的承諾的承諾的一部分，對過去15年內已經安裝的現(xiàn)有S600和S400系列型號進行現(xiàn)場改造。
下載文檔
