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[導(dǎo)讀]Infinitesima的革命性Metron3D計(jì)量系統(tǒng)可為下一代半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)在線3D工藝控制

英國阿賓頓, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) -- Infinitesima很高興地宣布已完成Metron3D 300mm在線晶圓計(jì)量系統(tǒng)的增產(chǎn)投資輪融資,將從2022年第四季度開始支持客戶出貨。

Metron3D系統(tǒng)采用公司經(jīng)過驗(yàn)證的快速探針顯微鏡(RPM)技術(shù)以及領(lǐng)先行業(yè)供應(yīng)商的模塊,可實(shí)現(xiàn)最大性能和可靠性。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于實(shí)現(xiàn)高吞吐量、全自動(dòng)、在線生產(chǎn)工藝控制,以滿足先進(jìn)半導(dǎo)體工藝對高分辨率3D計(jì)量日益增長的需求。

Infinitesima首席技術(shù)官兼創(chuàng)始人Andrew Humphris教授表示:“我們獨(dú)特的高速探針技術(shù)加上行業(yè)對在線3D計(jì)量日益增長的需求帶來了強(qiáng)大的客戶參與度,我們對此倍感振奮。

此輪投資由Wonik Investment Partners領(lǐng)投,該公司是領(lǐng)先的韓國國際企業(yè)Wonik旗下的子公司,擁有包括半導(dǎo)體材料和設(shè)備在內(nèi)的廣泛業(yè)務(wù)經(jīng)營范圍。 

Wonik Investment Partners總裁Dong Su Kim表示:“我們認(rèn)識(shí)到Infinitesima的巨大增長機(jī)會(huì),其獨(dú)特的3D計(jì)量技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)豐富的團(tuán)隊(duì)能夠滿足下一代半導(dǎo)體對工藝控制日益增長的挑戰(zhàn)性需求?!?/p>

Infinitesima董事長兼ARC InterCapital創(chuàng)始人Andrew Dixon表示:“在我們?yōu)轭I(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商引入Metron3D之際,我們很高興歡迎Wonik Investment Partners作為共同投資者和合作伙伴。”

關(guān)于Infinitesima

Infinitesima Limited是英國一家半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)計(jì)量解決方案的領(lǐng)先企業(yè)。公司率先推出了一項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù),將原子力顯微技術(shù)的三維表面探測能力與高速激光激活、高精度干涉測量系統(tǒng)以及高速探針顯微鏡 (RPM) 相結(jié)合,此項(xiàng)技術(shù)受到廣泛的專利組合保護(hù)。

公司的RPM技術(shù)已由領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司作為模塊集成在其生產(chǎn)線上,并由領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商使用。

半導(dǎo)體制造商越來越需要更高分辨率的3D計(jì)量解決方案來控制當(dāng)前光學(xué)和電子波束技術(shù)無法解決的下一代工藝。Infinitesima推出了采用其RPM專利技術(shù)的高速計(jì)量系統(tǒng)Metron3D,以滿足客戶對在線亞納米*3D工藝控制不斷增長的需求。

* 1納米 (nm) 為1米的10-9(單硅原子直徑約為0.2nm)。

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