中微公司全球第500臺MOCVD設(shè)備順利付運(yùn)

（全球TMT2022年10月26日訊）10月25日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司宣布：全球第500臺MOCVD設(shè)備順利付運(yùn)國內(nèi)一家專業(yè)從事LED外延片和芯片的研發(fā)生產(chǎn)制造商。本批次運(yùn)付的第500臺MOCVD設(shè)備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax?，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產(chǎn)。

作為專為高性能Mini LED量產(chǎn)而設(shè)計的MOCVD設(shè)備，Prismo UniMax?具備高產(chǎn)能和高靈活性的特點(diǎn)，在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個反應(yīng)腔，每個反應(yīng)腔均可實現(xiàn)獨(dú)立控制。Prismo UniMax?配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設(shè)計配置，最多可實現(xiàn)同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產(chǎn)能并降低生產(chǎn)成本。此外，Prismo UniMax?創(chuàng)新的多區(qū)輔助加熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，能精確控制托盤局部區(qū)域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。