邊打官司邊搞研發(fā)，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備老大是怎樣煉成的？

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（下簡(jiǎn)稱“中微”）董事長(zhǎng)兼CEO尹志堯在網(wǎng)絡(luò)上有兩個(gè)身份，一個(gè)是“打破格局！顛覆核心技術(shù)！外企獨(dú)霸的時(shí)代宣告結(jié)束??！巨頭們徹夜無(wú)眠！”的震驚式“王炸”，一個(gè)是“埋頭苦干，懇求媒體務(wù)實(shí)報(bào)道的”中國(guó)芯工程師。前者，是去年媒體對(duì)尹志堯博士受訪時(shí)一句“5納米今年年底基本上就要定了，現(xiàn)在進(jìn)展特別快”的瘋狂渲染，所意淫出的一個(gè)宇宙級(jí)戰(zhàn)士。后者，則是尹志堯博士口中的自己。

尹志堯（圖片來(lái)源：紅網(wǎng)）

在如今感嘆號(hào)已經(jīng)不值錢的年代，對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)頗有貢獻(xiàn)的尹志堯，真實(shí)的樣子是什么呢？筆者將從官方介紹和相關(guān)專訪資料中還原出來(lái)。

尹志堯出生于1944年，中學(xué)就讀于久負(fù)盛名的北京四中，成績(jī)優(yōu)異，“學(xué)霸”級(jí)的存在。本科畢業(yè)于中科大，隨后蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)從事催化劑和反應(yīng)器的研究和工業(yè)生產(chǎn)工作近十年。1978年，尹志堯選擇繼續(xù)深造，考入北京大學(xué)化學(xué)系。拿下化學(xué)碩士學(xué)位后，尹志堯又去大學(xué)洛杉磯分校，只用三年半時(shí)間就拿到了物理化學(xué)博士學(xué)位。

一路下來(lái)，將物理化學(xué)“盤”成了博士等級(jí)。所謂掌握數(shù)理化，走遍天下都不怕。此后，尹志堯開(kāi)始了半導(dǎo)體行業(yè)打怪升級(jí)之路，“修仙地”就是硅谷，而且一干就是20年。

這20年里，尹志堯從工程師干到高管，先后在英特爾（技術(shù)發(fā)展中心，1984年加入）、泛林（Lam Research，引領(lǐng)了刻蝕技術(shù)的發(fā)展，1986年加入）、應(yīng)用材料等半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)際巨頭工作。且有13年是在應(yīng)用材料公司任職，擔(dān)任過(guò)公司副總裁、等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲區(qū)采購(gòu)副總裁、應(yīng)用材料亞洲首席技術(shù)官等。

掐指一算，此時(shí)的尹志堯已到花甲之年，一般人年過(guò)60就開(kāi)始盤算退休后的老年生活，甚至是廣場(chǎng)舞的地盤之爭(zhēng)，然而他選擇了回國(guó)為祖國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)做貢獻(xiàn)。

回國(guó)之事，被一些媒體加以“英雄主義”渲染，一件留學(xué)生回國(guó)報(bào)效祖國(guó)的事情，變成了可與日月?tīng)?zhēng)輝的事件。而在2015年接受《財(cái)富中國(guó)》采訪中，尹志堯表示：“60歲也就差不多年齡吧，而且很多5、60歲的人，都想一起回來(lái)干，那么再加上政府的推動(dòng)。我們就決定在2004年回國(guó)做這個(gè)創(chuàng)業(yè)了?！?

當(dāng)時(shí)隨尹志堯從硅谷回來(lái)的還有15人，尹志堯博士稱中微的成就其實(shí)是大家共同的功勞。

一位昵稱為“劉長(zhǎng)銘”新浪博主在2012年寫了一篇名為《我所認(rèn)識(shí)的尹志堯》的博客，其中提到：“那時(shí)尹博士在微電子領(lǐng)域已經(jīng)有了70多項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利，由于他在世界上屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域中的領(lǐng)軍人物，掌握著許多關(guān)鍵技術(shù)，所以回來(lái)的過(guò)程頗費(fèi)周折，甚至頗有風(fēng)險(xiǎn)。”

而這里的“風(fēng)險(xiǎn)”，伴隨著中微的成長(zhǎng)，許多故事也是有驚無(wú)險(xiǎn)。

打官司的“老司機(jī)”

成立于2004年的中微，在2007年就掏出了第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)，在業(yè)內(nèi)首次采用可單臺(tái)獨(dú)立操作的雙反應(yīng)臺(tái)。此前，國(guó)內(nèi)沒(méi)有任何企業(yè)可以供應(yīng)核心半導(dǎo)體制造設(shè)備，所需設(shè)備幾乎全部依賴進(jìn)口。

同時(shí)也就在那一年，尹志堯的老東家應(yīng)用材料前來(lái)找茬，當(dāng)年10月，將中微半導(dǎo)體告上了美國(guó)法庭，投訴其有竊密之嫌。為了證明自己的清白，中微聘請(qǐng)了美國(guó)一流的知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟律師，花了兩年半的時(shí)間，徹查了中微 600 多萬(wàn)件文件和 30 多人的電腦和文件，都沒(méi)有找到關(guān)于應(yīng)材的圖紙，技術(shù)數(shù)據(jù)和商業(yè)機(jī)密，這個(gè)訴訟最終得到和解。

雖說(shuō)身正不怕影子斜的中微不懼任何訴訟，但你搶別人的生意，撬人家市場(chǎng)，就會(huì)被針對(duì)。上一個(gè)官司還沒(méi)和解，下一個(gè)官司又降臨。

在2009年，另一巨頭美國(guó)泛林研發(fā)在 2009 年在臺(tái)灣狀告中微的專利侵權(quán)。從結(jié)果來(lái)看，這起案件猶如禿子頭上的虱子——明擺著的，但卻就是那么難纏。起初只經(jīng)過(guò)8個(gè)月，中微就取得了一審的勝利。但泛林繼續(xù)上訴，法院又駁回，前前后后共重復(fù)四次。最后劇情反轉(zhuǎn)，中微拿出證據(jù)告對(duì)方竊取，并在上海法院提出訴訟，最后取得訴訟的勝利。

雖說(shuō)結(jié)局樂(lè)觀，但從外界發(fā)出的第四次獲勝的新聞稿時(shí)間來(lái)看，已經(jīng)是2011年的12月29日了，官司一打就是近三年。

從04年成立到2011年年底，中微似乎并沒(méi)有被官司擾亂心神，研發(fā)成果沒(méi)被落下。除了剛剛提到的開(kāi)山之作第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)之外，還有一些深硅刻蝕設(shè)備，MOCVD設(shè)備。下圖截自《中微在科創(chuàng)板上市申請(qǐng)文件——第三輪審核問(wèn)詢函的回復(fù)》中公司歷史研發(fā)項(xiàng)目的機(jī)臺(tái)研發(fā)情況圖。

此外，2011年10月，公司在大陸以外開(kāi)設(shè)第一個(gè)研發(fā)中心，占地1800平方米的新設(shè)施位于臺(tái)灣竹南，除研發(fā)外，該設(shè)施還用于中微先進(jìn)刻蝕產(chǎn)品的最終測(cè)試和組裝。2012年3月，中微半導(dǎo)體宣布Primo AD-RIE為中芯國(guó)際安裝使用，主要用于32/28nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)。

可以看出，中微是一面打著官司，一面搞著研發(fā)，本以為和應(yīng)用材料、泛林交完手，從此歲月靜好，但是你背負(fù)的使命感越強(qiáng)，找茬人就越多。

2017年LED設(shè)備廠商Veeco在美國(guó)紐約地方法院狀告MOCVD石墨托盤供應(yīng)廠商，認(rèn)為他們給中微半導(dǎo)體提供的石墨托盤侵犯Veeco的專利。作為打官司的“老司機(jī)”，這一次中微沒(méi)有聽(tīng)之任之，直接采取反制行動(dòng)，向中國(guó)專利局與其他國(guó)家專利主管機(jī)構(gòu)訴請(qǐng)Veeco的專利無(wú)效。

結(jié)果似乎很詭異，先是美方宣布對(duì)美國(guó)方面就先宣布對(duì)石墨托盤出貨禁令，讓中微無(wú)法獲得供貨，直到中微訴請(qǐng) Veeco 的專利無(wú)效得到批準(zhǔn)。隨后中微在福建法院狀告 Veeco 托盤鎖定的設(shè)計(jì)侵權(quán)，最后福建高等法院也對(duì)Veeco 進(jìn)口中國(guó)的 MOCVD 設(shè)備實(shí)施出貨禁令。

對(duì)方最終妥協(xié)，同意與中微共享石墨托盤專利。

如今，2018年?duì)I收達(dá)到16.4億元的中微，前段時(shí)間也開(kāi)啟了沖擊科創(chuàng)板之路。

當(dāng)危機(jī)已成習(xí)慣

從外界的報(bào)告資料來(lái)看，中微如今表現(xiàn)可圈可點(diǎn)，因?yàn)槠湟恢睂Ｗ镮C與LED領(lǐng)域客戶提供服務(wù)，憑借其專精的行業(yè)深度，不僅吸引了諸如中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、三安光電等國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體龍頭客戶，其刻蝕設(shè)備更是進(jìn)入了包括臺(tái)積電、SK 海力士、聯(lián)華電子、格芯等世界龍頭企業(yè)。

但不得不承認(rèn)與國(guó)際巨頭的差距依舊很大。

譬如，The Information Network數(shù)據(jù)顯示，前三大公司在 2017 年占據(jù)刻蝕設(shè)備總市場(chǎng)份額的 94%，近三年呈現(xiàn)進(jìn)一步集中的趨勢(shì)。中微只是在“其他”這一欄中小取一瓢。即便在招股說(shuō)明書中，中微說(shuō)自己“在國(guó)內(nèi)刻蝕設(shè)備市場(chǎng)中有突出市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，近期兩家國(guó)內(nèi)知名存儲(chǔ)芯片制造企業(yè)采購(gòu)的刻蝕設(shè)備臺(tái)數(shù)訂單份額分別為15%和17%”。

招股說(shuō)明書開(kāi)篇就自認(rèn)九大風(fēng)險(xiǎn)，分別是：研發(fā)投入不足導(dǎo)致技術(shù)被趕超或替代的風(fēng)險(xiǎn)；關(guān)鍵技術(shù)人員流失、頂尖技術(shù)人才不足的風(fēng)險(xiǎn)；下游客戶擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)；公司規(guī)模擴(kuò)張帶來(lái)的管理和內(nèi)控風(fēng)險(xiǎn)；財(cái)務(wù)風(fēng)險(xiǎn)；知識(shí)產(chǎn)權(quán)爭(zhēng)議風(fēng)險(xiǎn)；發(fā)行失敗風(fēng)險(xiǎn)；市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)風(fēng)險(xiǎn)；國(guó)際貿(mào)易摩擦風(fēng)險(xiǎn)。

光從這風(fēng)險(xiǎn)名稱中，就可以感受源源的壓力。

如果你說(shuō)沒(méi)有什么壓力是錢解決不了的，這句話沒(méi)毛病，但做這行的，你知道錢多少才是夠的呢？正如尹志堯在2015年接受采訪時(shí)所說(shuō)，在過(guò)去的10年，特別包括我自己在內(nèi)，去想辦法苦口婆心地說(shuō)服各種有錢的投資商，包括政府機(jī)構(gòu)、研發(fā)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，來(lái)支持我們，給我們經(jīng)費(fèi)。而別人一個(gè)研發(fā)總部一年半的研發(fā)經(jīng)費(fèi)（15億），中微當(dāng)時(shí)省吃儉用盤了10年。

在去年12月，中微的5nm等離子體刻蝕機(jī)宣布通過(guò)臺(tái)積電驗(yàn)證，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線，預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)。一切仍是那么值得期待。

在風(fēng)險(xiǎn)中尋找中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的機(jī)會(huì)，中微估摸著已經(jīng)習(xí)慣各種壓力了。