從小作坊到壟斷EUV光罩檢測，這家日本公司靠什么做到的？

時間：2023-01-09 19:40:02

關(guān)鍵字： EUV光刻半導(dǎo)體 AMD

手機看文章

掃描二維碼
隨時隨地手機看文章

[導(dǎo)讀]看似不起眼的“小公司“Lasertec，卻是世界上唯一一家為極紫外光刻（EUV光刻）制造測試設(shè)備的公司隨著今年半導(dǎo)體行業(yè)并購案的不斷增加，由此也產(chǎn)生了許多行業(yè)巨頭，如AMD收購賽靈思，英偉達收購ARM后的公司都成為了行業(yè)內(nèi)排名前列的巨頭。

看似不起眼的“小公司“Lasertec，卻是世界上唯一一家為極紫外光刻（EUV光刻）制造測試設(shè)備的公司隨著今年半導(dǎo)體行業(yè)并購案的不斷增加，由此也產(chǎn)生了許多行業(yè)巨頭，如AMD收購賽靈思，英偉達收購ARM后的公司都成為了行業(yè)內(nèi)排名前列的巨頭。

但半導(dǎo)體行業(yè)除了這些巨頭外，也有一些小而精的公司，如Marvel收購的Inphi，他們不追求多點開花，只專研一個領(lǐng)域甚至一個產(chǎn)品，持續(xù)深耕，耐得住寂寞，最后成為行業(yè)不可取代的存在。

日本的Lasertec也是這樣一個公司?？此撇黄鹧鄣摹靶」尽盠asertec，卻是世界上唯一一家為極紫外光刻（EUV光刻）制造測試設(shè)備的公司，三星臺積電均用其EUV檢測設(shè)備生產(chǎn)芯片。

說到光罩檢測，可能大家首先想到的是美國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)商KLA，但日本的Lasertec其實在這一領(lǐng)域也深耕多年，具有好不遜色的技術(shù)和產(chǎn)品。

根據(jù)Lasertec官網(wǎng)顯示，其成立于1960年，成立之初只是一家生產(chǎn)X-射線電視系統(tǒng)的小作坊，后經(jīng)過60多年的發(fā)展，目前其已經(jīng)成長為從事檢測和量測設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先開發(fā)商，主要提供半導(dǎo)體（晶圓/光罩）與LCD檢測機臺產(chǎn)品，太陽能電池相關(guān)設(shè)備與印刷電路板安裝檢測設(shè)備等，六十多年只專注于檢測這一塊。

雖然Lasertec目前在半導(dǎo)體行業(yè)還只是一家名不見經(jīng)傳的小公司，但它已經(jīng)成為包括臺積電、三星、英特爾等行業(yè)巨頭不可或缺的伙伴，今年，它還獲得了英特爾一年一度的供應(yīng)商獎。

EUV光刻制造測試設(shè)備“獨苗兒”

到底是怎樣的技術(shù)和產(chǎn)品讓Lasertec如此獨特且無可取代？

那就是針對EUV光刻的檢測技術(shù)。

目前的芯片制程已經(jīng)推進到了7nm，5nm，之前的DUV光刻已經(jīng)不能再滿足這些先進制程的制造需求，而需要采用EUV光刻技術(shù)，但如果在制造過程中出現(xiàn)缺陷，將會對良率造成極大傷害。

Lasertec早在2017年就掌握了關(guān)鍵技術(shù)，制造出了可以用來檢測空白EUV光罩內(nèi)部缺陷的設(shè)備，而臺積電還是在2018年4月進入7nm芯片的量產(chǎn)階段，而三星則是在2020年早些時候才開始量產(chǎn)7nm芯片。2019年，Lasertec又推出了對已印有晶圓設(shè)計的模板進行檢測的設(shè)備，成為了這一領(lǐng)域的壟斷者。

之所以Lasertec能取得目前的成就，可以從Lasertec創(chuàng)立初始就信奉的工程師理念，即“每年為世界帶來一個全新產(chǎn)品”，可窺一二，這種發(fā)展理念貫徹至他們員工每一天的工作中。Lasertec只專注于一個領(lǐng)域的持續(xù)研發(fā)，并及時了解市場需求，開發(fā)客戶所需的技術(shù)和產(chǎn)品。

在光學(xué)檢測領(lǐng)域，在1976年，Lasertec就成功研發(fā)了全球首臺自動LSI光罩檢測系統(tǒng)，這一系統(tǒng)為Lasertec之后的快速發(fā)展之路奠定了基礎(chǔ)。2017年，Lasertec針對最先進制程發(fā)布了他們經(jīng)過6年研發(fā)的EUV空白光罩檢測系統(tǒng)ABICS E120，這和KLA推出其FlashScan空白光罩檢測產(chǎn)品線的時間線相當(dāng)。

ABICS E120

先進的技術(shù)也幫助公司的收益和股價一路攀升。根據(jù)彭博社的報道，Lasertec股價自2019年初以來，已增長了550%。而在其剛剛公布的2020年7月-9月三個月的財報顯示，這三個月Lasertec的銷售額達到了131.65億日元，而2019年同期的銷售額則僅為55.42億日元，增長了超過兩倍。相信，隨著之后5nm制程的不斷推進，Lasertec未來的盈利增長空間還非常巨大。