目前常用的圖像傳感器為電荷耦合器件(Charge Couple Device,CCD),分為線陣CCD和面陣CCD兩種。前者用于尺寸和位移的測量,后者用于平面圖形和文字的傳遞等。目前面陣CCD已作為數(shù)碼相機(DC)、數(shù)碼攝像機(DV)以及各種數(shù)碼攝像頭和工業(yè)視覺系統(tǒng)等。貼片機中用于識別PCB基準和檢測元器件的照相機,就屬于用于工業(yè)視覺系統(tǒng)。
(1)CCD的作用原理
是由許多光敏像元組成的。每一個像元就是一個MOS(金屬一氧化物一半導體)電容器,如圖1所示。在P型硅襯底上通過氧化形成一層S102,再在SiO2表面蒸鍍一層金屬層(多晶硅)作為電極。P型硅中的多數(shù)載流子是帶正電荷的空穴,少數(shù)載流子是帶負電荷的電子。當電極上施加正電壓時,其電場能夠透過SiO2絕緣層對這些載流子進行排斥或吸引。于是,帶正電荷的空穴被排斥到遠離電極處,帶負電荷的電子被吸引到緊靠S102層的表面上來。這種現(xiàn)象便形成了對電子而言的陷阱,電子一旦進入就不能復出,故又稱為電子勢阱。
圖1 CCD基本結構示意圖
當一束光線投射到MOS電容上時,光子穿過多晶硅電極及SiO2層,進入P型硅襯底,光子的能量被半導體吸收,產生電子一空穴對,這時出現(xiàn)的電子被吸引并儲存在勢阱中。射入的光線越強,勢阱中收集的電子就越多,從而實現(xiàn)了光和電的轉換。而勢阱中的電子處于被儲存狀態(tài),即使停止光照,一定時間內也不會損失,這就實現(xiàn)了對光照的記憶。
(2)面型傳感器的構成
面型傳感器通常稱為圖像傳感器。如圖2所示,由光電二極管的二維陣列組成的面型傳感器。為了取出各光電二極管的電荷,配置了在圖的垂直方向進行電荷轉移的垂直CCD。來自光電二極管的電荷通過場效應管(轉移控制柵)的控制被垂直CCD讀入。轉移到垂直CCD的電荷然后向水平CCD轉移,進行水平方向的傳送,最后信號從MOS場效應管讀出。讀出各光電二極管電荷的脈沖由3部分組成,即由加到控制柵上的脈沖、加到各CCD像素上的脈沖以及加在輸出MOS場效應管柵極上的聯(lián)合控制脈沖。
圖2 CCD構成的視覺傳感器示意圖
在上面所介紹的實例中,光電二極管部分(感光部分)和CCD部分(轉移部分)是在半導體襯底上同一體制作出來的,這種電荷轉移方式稱為行間(Inter-line)、轉移方式。這種方式有利于得到高速度的圖像處理。但由于每個像素上不感光部分占用了較大的面積,感光效率不高。與行間方式相對應,感光部分與轉移部分分離制作的方式稱為幀轉移方式。
(3)與圖像處理技術的結合
照相機只能將二維光強度分布轉換成一連續(xù)隨時間變化的模擬電信號(稱為圖像信號),但僅此還不是人類視覺器官能感知的視覺信號。為得到視覺信號,必須依靠計算機作進一步的信號處理。通常圖像信號被轉換成數(shù)字信號,這些數(shù)字信號很容易存儲在計算機的存儲器中,然后根據(jù)需要進行圖像處理。
貼片機視覺檢測系統(tǒng)有專用的圖像處理系統(tǒng),根據(jù)像素分布、亮度和顏色等信息,轉變成數(shù)字化信號,圖像處理系統(tǒng)對這些信號進行各種運算來抽取目標的特征,如面積、數(shù)量、位置和長度,再根據(jù)預設的允許度和其他條件輸出結果,包括尺寸、角度、個數(shù)、合格/不合格和有/無等,實現(xiàn)自動識別功能。
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